水蒸气发生器性能好坏，取决于产生的蒸气是否持续稳定，且波动小。稳定持续最终取决于结构设计，其包括精密恒流泵，一体压铸微通道汽化器，PID算法控制，换热效率等。
传统的鼓泡法水蒸气发生器的是由加热装置、水箱、蒸汽输出口等组成，其工作原理是通过加热装置中的加热管将水加热至一定温度，开始产生蒸气，蒸气压力增加，最终释放输出到外部。加热过程中需要不断补水，补水会带来水温的变化，导致蒸气输出流量的波动，输出的温度也随之波动，所以这种传统的水蒸气发生器不适用于精密的实验或反应中，流量、温度稳定的蒸气且无法实现小流量的蒸气输出。
精密水蒸气发生器的工作原理是通过精密恒流泵控制进液量，经一体压铸微通道汽化模块（相变汽化模块）将液（H2O）分散成液膜，再换热转化成水蒸气，稳定的将一路液体蒸发。
精密恒流泵控制进液量，精度可达到±1%，压力可达到20Mpa，确保水蒸气输出浓度波动小，
一体压铸微通道汽化器（相变汽化模块）：微通道结构换热效果更快，能快速补充相变所需的热量，液体进入微通道能快速的形成纳米液膜汽化，波动小。且自主研发的相变汽化模块蒸发混合稳定，换热效率达到98%以上。
程序PID控制：可设置参数，显示数据，监控设备状态，以曲线或动画形式描绘工艺控制过程。植入控制算法软件，精度更高，浓度波动更小。
采用特殊算法：精确控制汽化进口的水流量和汽化过程中功率、液位、压力、温度等，最终达到对出口蒸汽的调节。精密控制精度，蒸发量大范围精准可调。
精密水蒸气发生器可产生连续且稳定流量和出口温度的水蒸气，流量范围可以从1ml/min到1000L/min,温度范围可以从常温到1000℃，其工作原理以及应用领域与传统蒸汽机不同。
