显微扫描仪是一类能够高分辨率扫描和成像微小物体或结构的仪器。根据扫描方式和成像原理的不同，显微扫描仪可分为多种类型，如显微三维扫描仪、扫描电子显微镜(SEM)、组织切片显微扫描仪、显微CT扫描仪等。
不同类型的显微扫描仪具有不同的工作原理：
显微三维扫描仪：通常采用三角测距法或结构光投影技术，通过彩色双CCD相机捕捉物体表面的三维信息，从而生成高精度的三维模型。这类扫描仪在农学领域有广泛应用，如植物形态学研究等。
扫描电子显微镜(SEM)：利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号(如二次电子、背反射电子等)来调制成像。SEM具有的分辨率，能够观察样品的表面形貌和微观结构。
组织切片显微扫描仪：专门用于扫描组织学样本，如医学/病理组织样本。这类扫描仪能够快速将样本数字化，并生成高质量的图像，便于后续的分析和研究。
显微CT扫描仪：结合X射线技术和计算机技术，对样品进行三维成像。它不仅能够提供样品的内部结构信息，还能够进行定量分析和测量。
应用领域：
显微扫描仪在多个领域具有广泛的应用：
农学：用于植物形态学研究、种子质量检测等。
生物学：用于细胞结构观察、蛋白质结构分析等。
医学：用于病理诊断、药物研发等。
材料科学：用于材料微观结构分析、材料性能测试等。
显微扫描仪通常具有以下技术特点：
高分辨率：能够捕捉样品表面的微小细节和结构。
高精度：测量结果准确可靠，能够满足科学研究的需求。
非破坏性检测：在扫描过程中不会对样品造成损伤。
自动化程度高：部分显微扫描仪具备自动化扫描和图像处理功能，能够大大提高工作效率。
