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日本unipulse 低硅测力传感器 UWR-10N的产品介绍

产品概要

半导体制造业中设备集成的理想之选！

低硅测力传感器

在半导体的生产过程中，使用不易释放硅氧烷（由硅树脂所释放的气体）的设备至关重要。

UWR是一种梁式测力传感器。

考虑到该传感器将被应用在硅晶片附近，生产时使用了不易产生氯气的聚四氟乙烯护套电缆。

技术参数

使用案例・配线图

使用案例

晶片传送机器人的夹紧力管理晶片抛光过程中的压力控制芯片贴装机的负载控制

焊线过程中的压力控制

气体、液体、胶状物等的附着力测量