德国vacom MERKURION® 离子吸气泵的产品介绍
离子吸气泵 (IGP) 主要用于压力 < 10 -5 mbar 的真空应用。其抽气作用基于通过气体放电不断更新的吸气层。该工作原理省去了移动部件 - 因此 IGP 完的全无振动、无的故障且维护成本低。它们是需要永的久可靠和深真空的封闭系统的理想选择。放电电流与工作压力成正比。一方面，这种效果使泵可用作粗压力表，另一方面，它允许在低压下非常低的能耗。因此，IGP 提供了一种实现和维持极的端真空环境的清洁且廉价的方法。
VACOM 凭借 MERKURION 系列将离子吸气泵技术提升到了一个新水平。我们的 IGP 提供了一种清洁且经济高效的方法，可实现并有效维持从高真空到极的高真空的压力范围。凭借各种不同的法兰连接和泵尺寸，可以轻松集成到您现有的系统中。可选集成加热器与内置温度屏蔽相结合，可确保整个泵的温度分布均匀。特别值得一提的是我们的 pro 系列泵，无需任何额外的绝缘措施（例如铝箔）即可加热。对于泵送惰性气体，我们还为 pro 系列提供惰性气体稳定差动泵送元件（Ta/Ti 惰性二极管）。
技术数据
