如何选择管式炉-合肥微元素

如何选择管式炉

1、根据实验所需的最高温度选择合适温度区间的加热炉。

A.选择工作温度时请注意仪器所能保持的最高温度(安全、连续使用的温度)。如：

微元素GYS-1700C            最高加热温度1700℃，连续工作温度是1600℃

B、仪器使用的加热元件限制了加热炉的最大工作温度,目前我公司加热元件

可分为四类:

①.250~1250℃  Fe-Cr-Al或Ni-Cr-Al合金加热元件或红外灯管加热元件

采用K型热电偶

如：采用电阻丝加热，K型热电偶测温，最高加热温度1200°C，长时间使用1100°C。

②.1300~1500℃碳化硅加热元件 采用S型热电偶

③.1600~1800°C MoSi2加热元件（禁止长时间在800°C以下加热）

采用B型热电偶

2、根据样品大小选择合适的坩埚及再炉管管径，选择容积合适的加热炉。(不建议不用坩埚载料直接将样品放入炉管）

A.坩埚选择

石英坩埚:≤1200°C使用石英管，热处理温度超过600°C时，请不要用氧化铝坩埚

氧化铝≤1800°C使用刚玉管，热处理温度超过900°C时，请不要用莫来石坩埚

石墨坩埚≤2300°C

例如：1、需要对粉末进行900°C热处理，选择石英坩埚装载样品。

2、需要将合金在1600°C融化，选择氧化铝坩埚。

B.管径的选择

选择好坩埚后，根据坩埚装载样品后的体积选择合适的炉管管径（一般买炉子会标配有加热炉管）

a. 石英管≤1200°C（真空环境下最高1000度）

b. 刚玉管≤1800°C（刚玉管不建议真空环境下使用）

d.800°C≤SS310管:≤1000°C(高压力/真空炉)

e.900°C≤超耐热不锈钢管:≤1000°C(高压力/真空炉)

总结：多大的炉管放多大的坩埚及样品！！！

3、根据实验要求选择单温区管式加热炉和多温区管式加热炉，多温区较单温区会设有多个热电偶，n温区加热炉的恒温区比(n-1)温区的加热炉恒温区要长，部分仪器尺寸变大。

管式炉的温区作用及如何选择？

（1） 恒温区的作用

恒温区一般指加热炉内的某一段区间内各点温度基本一致，样品放置在这一区间内，样品各处受到的温度会基本一致。（中心区域温差小于+/-1°C）

恒温区不同带来的变化

（2）恒温区选择举例 选择合适的恒温区，一定要先根据实验样品的尺寸或实验要求的受热体积来选 择。恒温区的增加或减少可能会改变仪器的尺寸，仪器整体会变长变大。

（3）恒温区选择举例

选择合适的恒温区，一定要先根据实验样品的尺寸或实验要求的受热体积来选择。

A、 实验样品尺寸大于仪器恒温区，需要选择多温区来增加恒温区的长度

B、 根据实验要求需要多个温度梯度时，这就需要多温区来实现

例如：通过物理沉积方式在基片上生长二维材料，原料高温挥发后，利用载气向低温端移动，一定温度下在基片上生长。（相邻两个温区最大温差300°C）

注意：加热炉加热区分为总加热区长度（加热源能覆盖的区域）和恒温区长度。 恒温区总是小于总加热区，请选择一个恒温炉区尺寸超过您样品的加热炉。

4、根据功能选择加热炉:

管式炉为基础加热系统，您可以根据不同的需求选择成套系统，如CVD、 PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2维材料生长系统等。

例如：生长石墨烯，所需要的PECVD系统

整个系统包括加热炉系统、射频电源、供气系统、真空系统、水冷系统、通风系统、氢气报警系统

立式管式炉：加热管垂直放置，以悬吊样品的方式，为样品提供淬火。

RTP(快速热处理加热炉):可以对样品进行快速加热和快速冷却

OYS-1200C-4-RTP

最快50°C/s升温速度，红外灯管加热

OYS-1200C-50-S

加热炉加热到某一温度后，滑至样品所在区域， 可以提高升温速度，热处理结束，将炉体移开， 使样品所在区域暴露在空气中，快速冷却。

高压力/真空炉:特殊设计的镍铬合金和不锈钢炉管，对样品进行高温高压和真空处理。

旋转管式炉:炉管旋转式结构可以更均匀的热处理粉末，同时也可以达到粉末包覆的效果。

可倾斜旋转管式炉+浮子供气系统/质量流量供气系统+真空泵

特殊气体处理能力:氢气处理和高温腐蚀研究特殊模型是可用的

6、选择合适的真空泵

低真空系统

极限真空度：5X10-2 torr——1X10-2Pa

国产高真空系统（分子泵）

极限真空度：本机组极限真空 5*10-5Pa

进口高真空系统（分子泵）

极限真空度：本机组极限真空 5*10-7Pa

7、选择有相关认证的管式炉

合肥微元素所有炉子的电子元器件均采用UL认证器件。

合肥微元素保证加热炉可单台可通过认证（可能会产生部分认证费用，具体请咨询销售）

8、支持定制，按客户要求出具体方案，报价，技术协议。

9、具体细节可以联系我们公司销售，售后，技术协助解决。