在线过程质谱仪是一种专门设计用于工业生产过程中的实时气体分析设备。这类仪器能够在生产过程中直接监测气体成分的变化，为过程控制提供关键信息。
在线过程质谱仪依据的是扫描磁扇质谱技术。利用这种技术，气体可以通过一个多流路进样阀源源不断的从取样系统到达离子源，在这里，气体分子被离子化和碎片化。离子被高能电场加速后进入电磁质量分析器，目标离子进入检测器。分子碎片能够产生重复性较好的“指纹”谱图，这可以让具有相似分子量的气体被精确测量而不受干扰。内置控制器使用一系列的工业标准协议，将气体浓度数据和其他诸如热值和碳平衡的计算数据直接传送到过程控制系统。耐用性和容错性设计在显著降低维护要求的同时，可以保证 99.7%以上的投用率。
在线过程质谱仪主要应用于以下几个方面：
过程控制：监测生产过程中的气体成分，以便实时调整工艺参数，提高产品质量和生产效率。
安全监控：监测潜在的有毒或易燃气体，防止安全事故的发生。
环境监测：监控排放气体中的污染物含量，确保符合环保法规要求。
科研应用：用于催化剂评价、反应动力学研究等科学研究。
