技术文章

爱安德东西什么是晶圆研磨?

爱安德商贸(深圳)有限公司 >> 进入商铺

2024/8/13 19:58:24

爱安德东西什么是晶圆研磨?

“晶圆研磨”

Back Grinding)在国内有时叫“背研”,也有的根据目的叫做“减薄”。顾名思义,主要是将晶圆通过背面打磨使之厚度控制在一定的范围.为什么要这样做?因为这道工艺对于设备的精度要求较高,而且加工成本也不低。在打磨的过程中很容易造成晶圆破裂,尤其是现在的晶圆直径越来越大(现在12"的晶圆已经投入生产批量)更增加了控制难度。所以有些晶圆代工/加工企业就留下这一工序,放在后工序来做。

因此后工序企业拿到的晶圆,,有时候是没法直接使用的,有时是因为尺寸要求,比如生产表面贴装器件,器件本身的厚度就很小;还有的就是一些功率器件,如果晶圆太厚会造成散热不良,所以必须将晶圆的厚度控制在能都接受的范围。

一般情况下对于中功率分离器件,厚度大约在350 450微米之间。而对于集成电路,厚度还要小,有些已经达到180微米甚至更薄Baid'文库


相关产品

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :