场发射扫描电镜广泛应用于半导体、无机非金属材料及器件、纳米材料、生物样品(如组织、细胞、微生物及生物大分子)等的检测和分析。
场发射扫描电镜是一种用于材料科学领域的分析仪器，它主要用于观察和分析材料的表面形貌和微区成分。场发射扫描电镜具有高分辨率，能够在低加速电压下观察绝缘或导电性差的样品，这对于研究纳米材料等方向有用。此外，场发射扫描电镜还配备了X射线能谱仪，可以在观察样品表面微观形貌的同时进行微区成分定性、定量、元素分布以及相分析，是研究纳米材料等方向的有力工具。
在使用场发射扫描电镜时，需要注意其运行环境条件的控制，包括温度、湿度、震动、磁场强度等因素。同时，还需定期检查和维护电子光学系统、真空系统等核心部件，以确保设备的稳定运行和长寿命。此外，对于灯丝等易损件需及时更换并正确维护，以避免对实验结果的影响。
场发射扫描电镜的特点包括：
高分辨率：二次电子分辨率在1.0nm至2.0nm之间，这有助于观察材料的细微结构。
宽放大倍数范围：从×20至×800,000，适应不同尺度下的观察需求。
冷阴极场发射电子源，提供稳定的电子束流。
灵活的加速电压范围：从0.5kV至30kV，可根据样品特性进行调整。
配备X射线能谱仪，进行微区成分分析。
此外，场发射扫描电镜还具有在低真空或充入特定气体条件下进行观察的能力，这使得它能够直接观察含水、含油及不导电样品，而无需进行特殊处理。通过向样品室充入水蒸气，可以在不破坏样品的情况下进行观察。此外，场发射扫描电镜还可以对样品进行加温和降温处理，实时观测化学反应过程，广泛应用于材料科学、生命科学、地质、有机化学等多个领域的研究和分析。
