光学轮廓仪是一种基于白光干涉原理而研发生产的高精度测量仪器，它广泛应用于多个领域，以非接触、无损的方式对精密器件表面进行纳米级测量。其通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。光源发出的光经过扩束准直后，被分光棱镜分成两束光：一束光经被测表面反射回来，另一束光经参考镜反射。这两束反射光最终汇聚并发生干涉，形成干涉条纹。显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
光学轮廓仪的应用范围：
1、精密加工：在精密加工领域，用于测量零件表面的粗糙度、刻线深度、镀层厚度等微观结构。例如，量块、光学零件表面的粗糙度以及标尺、度盘的刻线深度等，这些精确测量对于保证精密零件的性能至关重要。
2、半导体制造：在半导体行业中，轮廓仪用于检测硅片表面粗糙度及其上图形结构测量，还能应用于半导体封装工艺检测。由于其非接触式无损检测的特点，可以高效地对超光滑或粗糙的表面进行纳米级测量。
3、材料科学研究：材料科学中，轮廓仪用于分析材料的微观结构和形貌，如表面粗糙度、平面度、平行度等关键参数。这种测量指导生产过程，优化产品性能。
4、生物化学研究：在生物学和化学研究中，轮廓仪可以用于高灵敏度的光热效应弱吸收测量和总积分散射测量。这些测量帮助研究人员了解生物组织和化学样品的微观结构。
5、微机械学研究：微机械学领域中，轮廓仪用于测量微小机械部件的三维结构，如MEMS器件的表面形貌特征。这对于微型传感器和执行器的设计与制造非常重要。
6、3C产业链：在3C产业链中，光学轮廓仪被广泛应用于玻璃屏、手机金属壳模具瑕疵及油墨屏高度差的测量。这些高精度测量直接影响到电子产品的外观和性能。
