用于显微观察的照明装置，用于检测 最终成品表面上的各种缺陷，如异物、划痕、抛光不均匀、雾度、滑移等，是半导体加工过程中劳动强度的一种。晶圆和液晶板1.可照明样品表面范围在400.000Lx以上。
2. 因使用鹵素光源灯的光源，具有色温度高、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性。
3. 冷反射镜受热影响是铝镜的1/3
4. 二段切换构造，可用按扭切换高照明観察及低照明観察。
YP-150I...照度范围ph30
YP-250I...照度范围ph60
（YP-250I的通风机可选択螺旋式风扇或管道通风机形）
