适合灭菌的材料：铝、铜、Kraton共聚物、玻璃、乙烯、乙酸乙烯、液晶共聚物、聚碳酸脂、钛、聚氨基甲酸脂、聚氯乙烯、不锈钢、聚醚醚酮、聚乙烯聚苯、聚四氟乙烯、聚醚酰亚胺（U1tem共聚物）、聚苯乙烯、聚丙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、硅氧烷弹性体等。
GMP验证中推荐的臭氧灭菌方法，用得比较成功的方面：需灭菌物品的表面消毒灭菌在药品生产过程中，常常要对原材料，工器具，包装物等进行表面消毒，常常使用消毒柜，传递窗等。传统的方法是用紫外线消毒。问题主要是在消毒不彻的底，所以，若使用在诸如传递窗等要求不高的场合是可以的。但远不如臭氧的效果好。只要不怕臭氧腐蚀的东西都可以放在柜内进行消毒。臭氧浓度可以设计的高一点。可以取得100ppm以上。X射线和γ射线能使其它物质氧化或者直接作用于生物分子，从而抑制或杀死微生物。
用敞口的玻璃瓶灭菌，其结果是玻璃瓶中的液体减少了1/3；用塑料薄膜紧紧封住瓶口，封口塑料薄膜中间破裂，玻璃瓶中的液体仍减少1/3。
在对液态物质进行灭菌时，当灭菌结束注意卸压不能过快，尽量将排气阀关小，保持自然降压，保持系统原有的平衡，以防产生液体减少或喷溅现象。
