日本现货ULVAC爱发科WP-01传感器真空规管

日本现货ULVAC爱发科WP-01传感器真空规管

真空泵(低・中真空)

ULVAC的真空泵是以ULVAC在真空领域丰富的技术和经验为基础开发的。除了油回转真空泵以外，干泵也有罗茨型、膜片型和活塞型等。我们有适用于所有领域·条件·用途的真空泵系列产品。

特点

• 通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。

• 采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。

• 从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

• 用途

• 半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。

• 真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。

• 锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。

• 医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。