真空泵的作用是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
维护内容：
1.真空泵长期停用，需将泵拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保存。
2.向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。
3.真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。
4.检查油罐车真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。
5.拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水（或引浆)。
