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真空开关真空度检测方法及注意事项

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2024/9/3 7:21:12

真空开关真空度检测方法及注意事项

真空度降低的原因

灭弧室内部材料含气释放
灭弧室漏气:灭弧室密封质量、机械冲击
真空度检测方法:

火花计法-淮确度低,人为、环境影响因素大)观察法一准确度低,人为、环境影响因素大交流耐压法-无法定量,不能作出预判断。

真空度测试仪法
真空度在线监测:电光变换法、耦合电容法、压力传感法。
真空度测试仪基本原理

磁控放电法-高压脉冲和磁场脉冲同时作用于真空灭弧室,使之内部产生脉冲磁控放电现象,产生离子电流,测量离子电流并与己知的电流-真空度曲线比较,得出真空度。

真空度测试仪.png


各厂产品差别

离子电流取值方法-峰值方法、积分方法
磁场线圈形式一固定式、缠绕式、对折式。
内存曲线数量一粗分、细分
测试精度问题

前测量范围0-10-4Pa,可达到10级。
现场测试注意事项

灭弧室表面应擦拭干净

磁场线圈尽量贴近灭弧室
连续重复测试同一灭弧室,数据可能不准

测试完成后,真空开关真空度测试仪应放电。
测试结果处理建议

不能
完-全排除交流耐压试验,应结合使用

测试结果10-4Pa数量级及以下,合格
测试结果在10-3Pa数量级,加强监测

测试结果10-2Pa数量级及以上,建议更换。

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