气动主动微振动控制系统“α系列”特許機器株式会社可以支持从3点到多点！根据设备规格和要求量身定制的微振动控制技术
“α系列”是一款气动主动微振动控制系统，汇集了微振动控制技术的精华。
半导体和液晶变得越来越精细，为了提高生产效率，
向着更高精度和更快的速度转变，这就
需要能够快速消除大的直动扰动的技术。该产品满足了这些市场需求，具有
优异的隔振性能、控制性能和恢复性能。
[特点] ■优异的隔振性能■稳定时间快，位置控制准确■高耐用性*详情请参阅PDF文档或随时联系我们。
[气动控制的特点]
■低范围隔振性优异
■易于承受静载荷
■易于控制位置姿势
■大行程
■无蠕变
■无发热
■无磁通泄漏
*详情请参阅PDF文件请查看或随时与我们联系。
