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有源磁场消除器“AMC-331”特許機器株式会社

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2024/9/5 11:12:15

有源磁场消除器“AMC-331”特許機器株式会社


推出采用微振动测量专-利技术打造的高性能主动磁场消除器。

“AMC-331”是一种高性能主动磁场消除器,可保护电子束应用设备免受磁场波动的影响

通过使用控制器和亥姆霍兹线圈的组合来
控制由磁场传感器检测到的干扰磁场,来抑制干扰磁场的影响。它有利于

改善电子显微镜的图像,提高电子束加工设备的加工精度。 [特点] ■高达40~60dB的优异衰减性能■与使用屏蔽的磁场对策相比,成本约为1/10 ■只需将线圈固定在设备周围■根据目标设备设计线圈■用于频率分析以此为基础,对多种干扰磁场进行精准控制*详情请参阅PDF文档或随时联系我们。


基本信息有源磁场消除器“AMC-331”

[其他特点]
■控制方式:准直流+交流代表值控制+各轴独立反馈控制
■控制范围:±15μT(认证)
■控制频率:准直流~1kHz
■衰减率:40~60dB

*对于详细信息请查看 PDF 文档或随时联系我们。

价格范围请联系我们
最后期限请联系我们
应用/结果示例[用途]
■扫描电子显微镜(SEM)
■透射电子显微镜(TEM)
■聚焦离子束(FIB)
■尺寸SEM (CD-SEM)
■电子束光刻系统(EBL)
■质谱仪(MS)

*了解更多信息,请参阅 PDF 文档或随时联系我们。


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