SONIC超声波微液体流量计μLF-300S
用于IPA、纯水、药液等半导体制造工序中微小区域的流量控制
测量1ml/min以上的微小流量利用数字信号处理高精度测量微小流量
-传感器部的结构不与流体接触范围广
μLF-300S
| 模型 | μLF-300S + μLT-8I（1/8 英寸）或 μLF-300S + μLT-4I（1/4 英寸） |
| 测量原理 | 超声波传播时间差法 |
| 待测液体 | 纯水、水溶液、各种化学溶液 * 使用水以外的液体时，请事先确认。 |
| 适用流体温度范围 | 15℃～80℃ *60℃以上使用请提前确认 |
| 流体压力 | 0.5MPa以下 |
| 流体运动粘度 | 100mm^2/秒或更小 |
| 流量范围 | 0 毫升/分钟 ~ 1000 毫升/分钟 (μLF-300S + μLT-8I) 0 毫升/分钟 ~ 1000 毫升/分钟 (μLF-300S + μLT-8I) |
| 测量精度 | ±0.5%RD（1/8英寸：200～1000ml/min 条件：室温、恒温水） ±1ml/min（1/8英寸：0～199ml/min） ±0.5%RD（1/4英寸： 0～199ml/min） 800～4000ml/min 条件：室温、恒温水） ±4ml/min（1/4英寸：0～799ml/min） |
| 重复性 | ±0.2%（纯品，液温±0.5℃，30秒平均值） |
| 电源 | 直流24V±10% |
| 功耗 | 3.6W以下 |
| 重量 | 转换器240g，检测器70g |
| 尺寸 宽x高x深(毫米) | 转换器 97 x 49 x 127 检测器 90 x 25 x 20（不含管） |
| 检测部分 | |
| 管材 | PFA（氟树脂） |
| 管径 | 1/8 英寸外径：3.17 毫米，内径：2.17 毫米，1/4 英寸外径：6.35 毫米，内径：4.35 毫米 |
| 结构 | 相当于IP65 |
| 附带电缆 | 5m，连接器连接 |
| 输入部分 | |
| 数字输出 | 4 线 RS-422、4 线 RS-485 |
| 模拟输出 | 4-20mA（瞬时流量），负载电阻500Ω以下 |
| 集成脉冲输出 | 1ch（集电极开路） |
| 报警输出 | 1ch（集电极开路） |
| 接点输入 | 1ch（零流量设置或积分清除） |
| 按键输入 | 4个输入按钮 |
