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YP-150I半导体晶圆表面缺陷检查灯原理应用

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2024/9/6 17:55:05

YP-150I半导体晶圆表面缺陷检查灯原理应用


表面瑕疵灯用于人工检测工件表面灰尘、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵点。

检测原理是:利用适合的LED 灯源,通过光学透镜和滤光片折射出特殊的光源,照在工件表面折射出光路,使得操作员肉眼可识别出工件表面的瑕疵。

YP-150I 表面检查灯 YP-250I

基本信息高强度卤素光源装置

超精密平面检测的理想选择!通过惊人的照明,可以检测小于 0.2 μm 的缺陷。

“YP-150I”是一种用于显微观察的照明装置

用于检测最终成品表面上的各种缺陷,如异物、划痕、抛光不均匀、雾度、滑移等,是半导体加工过程中劳动强度的一种。观察晶圆和液晶板、玻璃表面、部件表面的瑕疵,广泛应用于镜片、液晶玻璃、手机屏幕、汽车玻璃,晶圆片、模具、汽车、手机保护膜、柔性基板、网版丝印等行业

表面的照度可超过 400,000 Lx。

另外,由于采用卤素灯作为光源,色温高,

光照不均匀的情况很少,光照强度稳定锐利。

姊妹机“YP-250I”也可用于 8 英寸。

■ 光源采用卤素灯

■ 可以将样品表面照射到400,000 Lx或更高

■ 热量的影响降低到传统铝镜的1/3

■ 高照度观察和低照度观察可一键切换

请用于超精密平面检测!

高亮度卤素光源装置“YP-250I”是用于检测划痕、抛光不均匀、雾度和滑移等各种缺陷的微观察照明装置。

采用卤素灯作为光源,色温高,减少照明不均,照明***稳定锐利。

此外,本机为“YP-150I”的姊妹机,有螺旋桨风机型和管道风机型可供选择,可根据应用进行使用。

YP-150I,可精确检查到1um 以下的刮痕或微粒子,几乎可检测出所有尘埃。我们有不同强度及样式的表面瑕疵检测灯,如果是测试要求比较高的大半导体厂,可使用强度为30万LX以上的检查灯,如果是测试要求没那么高的一般封测厂,可采用光源强度达 5万LX的检查灯。检测灯使用寿命为2万小时以上,比传统的检查灯寿命长且效用增强 10 倍。


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