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本阀主要用于超纯气体分析系统的压力调节和恒定,结构采用特种不锈钢膜片作为弹性元件,死体积小、平衡速度快,使用温度范围宽,性能稳定;且内腔结合处几无橡胶密封件,避免了挥发性物质的产生。其优越的性能和小的安装体积为仪器和便携式仪器气路控制部件的。
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