菲希尔X射线XDL230主要技术指标：（标★为重要参数）
1、测量原理：X射线荧光光谱法测量镀层厚度
2、测量方式：无损检测，可自动聚焦
3、元素测量范围: Cl（17）--U（92），多可测量24种元素23层镀层。
★4、手动X/Y平台,移动范围≥95x150mm,可用工作台面≥420x450mm
5、电动Z轴，手动/自动聚焦，可移动范围≥140mm
★6、采用DCM（测量距离补偿法）可远距离对焦测量腔体样品，可达80mm深度
★7、满足可变高压30KV,40KV,50KV三种可调节，以满足不同的测试需求。
★8、准直器：φ0.3的圆形准直器
9、X射线探测器：比例接收器
10、统计计算：数据组带时间和时期功能，统计功能包含平均值、标准偏差、大值、小值等；还可输入公差范围，计算CP和Cpk值，超范围值时仪器应有自动报警提示功能
11、windows7以上中文操作界面，WinFTM专业测试软件，具备连接PC和打印机的USB借口
★12、测量误差：镀层厚度≥0.5um时，顶层镀层测量精度≤5%
