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大多数测量显微镜采用远心光学器件进行透射照明。不使用远心光学系统的显微镜会使附近的物体显得更大而远处的物体显得更小。
这种现象与我们日常使用的相机是一样的。然而，这一特性意味着在测量尺寸时，距离较远的零件会比高度方向不同的零件测量得更小。
对于使用远心光学系统的镜头，即使到镜头的距离或焦点在光轴方向上移动，图像的尺寸也不会改变，即使它变得模糊。对于在用显微镜观察的同时测量尺寸的尺寸测量显微镜来说，远心光学系统
测量显微镜通过将物体放置在 XY 平台上来测量物体。因此，测量点可以位于 XY 平台操作范围内的任何位置。换句话说，无论待测物体位于XY平台上的哪个位置，您只需将XY平台移动到测量点并进行测量即可。
有些待测量的角度和圆直径可能需要 XY 平台的较大移动，但如果不进行特殊调整，待测物体的轮廓永远不会与 XY 平台的移动平行。因此，在测量前，需要使XY平台的移动与被测物体的参考边缘平行。
另外，如果被测物体与XY平台不平行，在测量角度和平行度时会出现较大误差。因此，需要进行计算来修正测量结果。近年来，制造商推出了一系列测量设备，可以在 XY 平台上创建坐标系，并根据原点和测量点的坐标进行计算。通过使用它，可以减少平行对准步骤的数量。
对于显微镜来说，能够以大的放大倍率观察物体很重要，但能够立即获得宽广的视野也很重要。使用显微镜一次可以看到的面积称为视场，视场由目镜的直径决定。
视场的大小称为视场数，实际视场表示被测物体表面有多少部分在视场内可见。实际视场角与镜头倍率的关系如下。
实际视场=目镜视场数/物镜放大倍数
从上式可以看出，在目镜视场数相同的情况下，随着物镜放大倍数的增大，实际视场范围会变窄。这说明增加物镜的放大倍数以放大待测物体与一次可以看到的范围之间存在一种权衡。
要增加视野，必须增加目镜的直径或减小物镜的放大倍数。然而，由于测量需要放大倍数，因此物镜的放大倍数可以减小多少是有限度的。因此，测量显微镜具有 XY 平台和显示移动量的计数器，并配备了测量不适合视野的区域的装置。
