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什么是半导体制造中的切割?

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2024/9/19 9:15:54

什么是半导体制造中的切割?将晶圆上形成的集成电路切割成芯片的技术和工艺。说。

切割方法有通过使刀片(砂轮)高速旋转来进行切割的“刀片切割法”、通过照射激光使晶片蒸发、升华的“激光烧蚀切割法”。切割方法有三种:隐形切割法,其中刀片切割法被认为是先进的。最常见的切割方法。

在此过程中,切割胶带用于固定和保护芯片在切割过程中不会散落。是。

切割胶带有两种类型:UV型,在切割工艺后将胶带与晶圆分离时照射紫外线;非UV型,不照射紫外线。 UV型切割胶带具有高粘合强度,可以稳定地固定晶圆,但紫外线照射会导致其硬化并降低其粘合强度,从而更容易将晶圆与胶带分离。

由于其有利于后处理加工,因此被广泛应用于切割工艺。


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