照射的紫外线量波长一般为365nm和高压汞灯、金属卤化物灯等紫外线灯、UV-LED、黑光灯（荧光灯）用作紫外线照射设备的光源。
照射方法有两种：一种是照射部移动并扫描晶圆，另一种是一次性照射整个晶圆。
另外，部分设备还配备氮气吹扫功能，防止氧气造成的固化抑制，使紫外线均匀照射，使胶带固化，防止后处理中晶圆缺陷和损坏。
最佳照射条件根据所使用的切割胶带和光源的不同而不同，因此需要选择与生产条件相匹配的紫外线照射装置。
涂布机、步进机等曝光设备一般采用UV灯光源作为光源。 UV灯光源因其可以提供多种波长且易于获得大量光而被越来越多地使用，但另一方面，它们往往寿命较短且运行成本较高，因为它们必须始终保持在有人担心启动时间较长，导致工作效率下降，并且含有汞，会造成环境风险。
我们的UV-LED光源装置可以解决这个问题。我们开发的它具有与紫外灯光源在相应频率（如 365nm 和 405nm）下获得的相同的照射面积和均匀性。
在半导体制造工厂和FPD制造工厂使用的曝光设备中，我们在将UV灯光源替换为UV-LED光源方面取得了许多成果，并且由于更长的寿命而实现了运行成本的降低和早期启动。
