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透氧性是指材料允许氧气通过的能力，是材料性能的一个重要指标。对于硅片而言，透氧性反映了其阻隔氧气渗透的能力。
通过检测硅片的透氧性，可以评估其在特定环境下的稳定性和耐久性。高透氧性可能意味着硅片在含氧环境中容易受到氧化影响，从而影响其性能和使用寿命。
硅片等压法透氧仪简介
硅片等压法透氧仪采用库仑氧气传感器和等压法测试原理，参照ASTM
D3985等标准设计制造，适用于食品、药品、医疗器械、日化、光伏、电子、工业品等领域的薄膜、片材、容器及相关材料的氧气透过性能测试。
硅片等压法透氧仪工作原理
将处理好的样品装夹于测试腔上，氧气或空气在薄膜的一侧流动，高纯氮气在薄膜的另一侧流动，氧分子穿过薄膜扩散到另一侧中的高纯氮气中，被流动的氮气携带至传感器，通过对传感器测量到的氧气浓度进行分析，达到渗透平衡后出具氧气透过率测试数据。
保障产品质量与安全性
在半导体制造、光伏产业等高科技领域，硅片作为核心材料，其质量直接关系到产品的整体性能和安全性。通过等压法透氧仪的检测，可以及时发现硅片在透氧性能方面的问题，从而采取相应措施进行改进，确保产品质量符合标准和客户要求。这对于维护企业声誉、提高市场竞争力具有重要意义。
