步进曝光机是一种使用步进重复方法进行曝光的投影曝光设备。将曝光区域分成几个小部分并一次性曝光这些区域。曝光完成后，移动到下一个区域并进行另一次曝光。这称为步进重复方法，因为该区域被移动（步进）并重复曝光（重复）。
UV照射设备一般采用超高压汞灯作为光源。当在晶片或玻璃基板上形成电路时，通过用紫外线照射图案化的光掩模，将图案转移到涂有抗蚀剂的基材上。
曝光所需的光线要求均匀度高、角度控制精确、输出高。为了满足这个要求，我们使用短弧灯，它是几千瓦到几十千瓦的光源，并通过许多光学元件将椭圆镜聚焦的强紫外光照射到光掩模上。
