临界点干燥仪是一种用于在微纳加工过程中对样品结构进行干燥的设备。它利用液态二氧化碳和乙醇，在特定的温度和压力下，使样品表面在气态与液态之间转换时表面张力为零，从而大大降低了普通干燥过程对样品表面的破坏。以下是操作流程的详细描述：
1. 准备工作
- 检查设备状态：确保临界点干燥仪的各项设备处于良好工作状态，包括压力表、温度计和各种阀门。
- 确保通风：操作区域需要有足够的通风，因为处理过程中会有二氧化碳释放。
2. 装填样品
- 准备样品：将需要干燥的样品放置在装有溶剂的密封容器中。
- 密封容器：将密封容器的盖子固定好，确保密封。
3. 提升压力和温度
- 加入二氧化碳：将二氧化碳通过阀门加入密封容器，逐渐增加压力。
- 升温：加热密封容器，提高温度，使得二氧化碳处于超临界状态。
4. 保持条件
- 压力和温度稳定：一旦达到超临界状态，保持压力和温度在稳定范围内，以保持超临界流体的状态。
5. 去除溶剂
- 缓慢释放：根据程序设定，缓慢释放二氧化碳，并观察溶剂从材料中迅速挥发的过程。
- 减压：逐渐降低压力，使得二氧化碳转变成气态并释放到大气中。
6. 取出干燥样品
- 取出样品：一旦处理完成，打开密封容器，取出已经干燥的样品。
- 存放：将干燥完成的样品进行妥善存放，防止受潮。
7. 清洁和维护
- 清洁设备：清洁所有设备，确保设备处于良好状态。
- 维护记录：记录操作过程，并对设备进行维护保养。
