质量流量控制器是测量流体流量并控制流量的装置。
它用于需要高级流量控制的过程现场。质量流量是指质量流量。流量有两种类型：体积流量和质量流量。质量流量传感器测量质量流量，而不是体积流量。
由于质量流量不受流体类型、特性和温度等环境条件的影响，因此可以比体积压力更准确地测量和控制流量。
质量流量控制器除了测量流量之外还可以控制流体。此外，由于它可以实现高精度和稳定的控制，因此可用于各种过程现场和实验室。在半导体制造工艺中，用于成膜、蚀刻等工序。除半导体外，还使用光纤、液晶和生物技术等多种产品。在实验室中，它们还用于控制分析仪器中的载气。
质量流量控制器由传感器、旁路、流体控制阀和电路组成。热式流量传感器通常用作流量传感器。流体被传递到质量流量控制器内的传感器和旁路。在传感器中，流体流经的管道周围缠绕有加热器，将管道上游和下游两侧流动的气体之间的温差转换成电信号来测量流量。热质量传感器对可发送到传感器的流体量有限制。
因此，通过将一部分流量输送至传感器，其余流量输送至旁路，可以保持分流比恒定，从而即使在流量较大时也可以高精度地控制流量。流体控制阀根据传感器测量的流量来调节流量。流体控制阀使用电磁执行器、热执行器和压电执行器作为执行器（将电信号转换为物理运动的装置） 。
为了选择质量流量控制器，需要考虑气体类型、最大流量和工作压力等条件。质量流量控制器是根据所使用的气体类型来设置的，因此无法对不同的气体类型进行精确测量。
另外，在腐蚀性气体的情况下，需要选择耐腐蚀性高的密封材料。质量流量控制器的流量控制范围一般为2-100%FS（最大流量），因此需要选择与所使用的流量相匹配的最大流量。质量流量控制器中使用的流量调节阀通过阀门开度来调节流量，因此一次侧和二次侧之间需要有压力差。一般以50-300kPa为宜，但压差太大或太小，都无法正确调节流量。另外，选择时可能还需要注意要控制的温度和接头。
