真空泵根据其工作原理进行分类，并解释了最典型的工作原理。
1、油旋片真空泵
油回转真空泵是利用旋转的转子将吸入的空气推出的真空泵，是利用油来提高气密性的湿式泵的总称。也称为旋转真空泵。
具体类型有旋片式油回转真空泵、凸轮式油回转真空泵、摇摆活塞式油回转真空泵。与转子、凸轮和活塞连接的摆动部分以及与空气接触的部分的形状各不相同，但在所有类型中，随着转子旋转，通过排出空气来产生真空。
只要使用油，油的蒸气压就是真空的极限，但油的作用可以实现稳定的性能，并且可以用小型装置轻松实现中等真空。
2、油扩散真空泵
油扩散真空泵由锅炉、喷嘴和冷凝器组成。在锅炉中加热并转化为蒸汽的油通过喷嘴以超音速喷射，将泵内的空气分子推出到排气口。蒸出的油在冷凝器中作为液态油重新使用。
3、旋片式干式真空泵
旋片式干式真空泵是一种不使用油，利用旋转的转子和叶片抽出从进气口吸入的空气的真空泵。由于无法防止空气回流，低真空条件是限制，但可以实现高抽速。
4、摇摆活塞式干式真空泵
摆动活塞式干式真空泵是利用与偏心转轴相连的活塞来推出和排出空气的真空泵。由于其结构，无法防止空气回流，因此低真空条件是其限制，但维护很容易。
5.隔膜式干真空泵
隔膜泵是通过橡胶、树脂或金属等材料制成的隔膜的往复运动与止回阀相结合来输送流体的泵。使用真空泵时，由于有止回阀，无需使用油来密封，可作为干泵使用。随着往复运动，通过反复从要形成真空的一侧吸入空气并将其排出到大气中来形成真空。
6、涡旋式干式真空泵
涡旋式干式真空泵是通过螺旋定子和转子的联合运动来排气的干式真空泵。旋转运动将空气吸入中心并从中心排出。
7. 涡轮分子泵
涡轮分子泵是涡轮形式的干式真空泵。排气是通过使涡轮叶片高速旋转以接近分子的热运动来实现的，根据涡轮叶片的倾斜度在分子运动中产生偏差。为了使涡轮叶片高速旋转，必须在一定的真空度下使用，并与其他真空泵组合使用。
