三坐标测量机（CoordinateMeasuringMachine，简称CMM）是一种高效率的新型精密测量仪器，其工作原理基于三维空间的坐标系统。它通过将被测零件放入测量空间，精密地测出零件在X、Y、Z三个坐标位置的数值，然后根据这些点的数值，经过计算机数据处理，拟合形成测量元素（如圆、球、圆柱等），最后通过数学计算得出形状、位置公差及其他几何量数据。
三坐标测量机的工作原理主要依赖于精确的机械运动、电子控制和数据处理能力。机械结构的高稳定性和高刚性保证了测量的精度和稳定性；电子控制系统负责控制测量探针的准确移动；数据处理系统则负责将采集到的坐标数据进行处理和分析，得出测量结果。
在测量精度方面，三坐标测量机的运行精度通常在0.002-0.005mm之间，这一精度范围已经能够满足大多数工业测量的需求。然而，实际精度可能会受到机械结构、设备保养和测量环境等多种因素的影响。为了确保测量精度，需要选择具有高精度机械结构的测量机，并定期进行保养和校准。同时，优化测量环境，减少外部因素的干扰，也是提高测量精度的重要手段。
总的来说，三坐标测量机以其高精度、高效率、通用性强等特点，在机械制造业、汽车工业、电子工业等领域得到了广泛应用。它不仅能够完成各种复杂测量任务，还能够与数控机床交换信息，实现对加工的控制，是现代工业检测和质量控制的万能测量设备。
