超纯水脱氧机和无氧水设备的主要功能是去除水中的溶解氧，以防止在某些工业应用中可能出现的氧化腐蚀现象。以下是超纯水脱氧机和无氧水设备的流程概述：
一、超纯水脱氧机流程
进水预处理：
原水（通常为自来水或纯水）经过预处理，去除其中的悬浮物、胶体、细菌等杂质，通常包括过滤、活性炭吸附等步骤。
超滤（UF）：
通过超滤膜去除水中的微小颗粒、细菌和有机物，以提高水的纯度。
反渗透（RO）：
利用反渗透膜对水进行进一步净化，去除水中溶解的盐类、重金属离子、细菌和其他污染物，以获得高纯度水。
脱氧处理：
反渗透后的水进入脱氧机，通常采用还原剂法（如亚硫酸氢钠、氢气等）或气体交换法（如用氮气或氢气吹扫）去除水中的溶解氧。
后处理：
处理后的水可经过进一步的离子交换、紫外线消毒等步骤，确保水的超纯度。
储水系统：
完成脱氧后的水被储存在专用的无氧水罐中，保持其稳定性和纯度。
出水检测：
定期对出水进行检测，以确保水质符合标准（如电导率、pH值等）。
二、无氧水设备流程
进水处理：
原水进行初步处理，去除大颗粒物质和悬浮物，通常通过粗滤器和活性炭吸附。
气体剥离：
利用气体剥离设备（如真空脱气器或氮气置换装置）降低水中氧气含量。通过降低水压或氮气的置换，将溶解氧去除。
反渗透（可选）：
在某些情况下，为进一步提高水质，可能会增加反渗透处理步骤，去除水中的离子和污染物。
储存和分配：
脱氧后的水被储存并分配到需要使用的地方，确保其在使用过程中的无氧状态。
监测与控制：
通过在线监测设备定期检测水中的氧气含量和水质，确保水质的稳定和符合要求。
三、应用领域
超纯水脱氧机和无氧水设备广泛应用于以下领域：
半导体制造：为集成电路的生产提供高纯度的无氧水。
制药行业：确保制药过程中使用的水不含氧，以防止药物的氧化。
电力行业：在锅炉和冷却系统中使用，以防止腐蚀和结垢。
化工行业：在反应过程中需要无氧环境，以提高反应效率和产品质量。
四、总结
超纯水脱氧机和无氧水设备通过一系列高效的处理流程，能够有效去除水中的溶解氧，确保水质的纯净和稳定。随着工业对水质要求的不断提高，这些设备在各个行业中的应用将愈加广泛。
