以下是一份蔡司扫描电镜的操作技巧与维护保养指南：
一、操作技巧
样品准备
选择具有代表性的样品，并使用适当的清洗方法去除表面污垢和杂质。
在样品表面喷镀一层导电膜，以增加样品的导电性能，降低放电现象的发生。
将样品放置在干燥环境中，以去除表面水分，避免水汽在电镜中凝结。
戴手套操作，以免污染样品。
将样品用导电胶带贴在小丁台上，或用导电胶直接粘在9孔台中间的9号孔台上(仪器中显示为0号)。使用环形镊子夹取小丁台放入9孔台内，并用螺丝固定牢固(不要使劲拧以免螺丝滑丝)。
开机与检查
确保实验室环境干燥、清洁，避免灰尘和潮湿对设备造成损害。
检查扫描电镜的外观是否完好，各部件是否正常，确保没有明显的破损或异常。
按照设备说明书的指示，正确开启电源，并等待设备自检完成。
操作与观察
充气后打开舱门，将样品台卡在基座上。抽真空至听到机器“咔”声响，此时Vacuum面板中System Vacuum的值约为5X10^-5mbar，表示可以开始测试样品。
在TV模式下，通过摇杆将样品台移到合适的工作距离。
打开并选择合适的加速电压(EHT)，导电性差的样品可以选择1~3kV，导电性好的样品可以选择10kV及以上的高电压。
在Aperture面板中选择合适的光阑，一般选30μm(视样品情况而定)。
选择合适的成像探头(一般二次电子成像选择SE2或Inlens探头)。
调节Mag/Focus旋钮，低倍聚焦使能看清样品。
移动样品台到感兴趣的区域，调节亮度(Brightness)和对比度(Contrast)使图像明暗合适。
使用Reduce小窗口调焦，提高放大倍数后聚焦，如此反复直至所需要的放大倍数。
在SEM Control: Gun界面中，可以选择不同的探头进行信号混合，调节图像的亮度和对比度，选择不同的光阑尺寸进行光阑对中等操作。
通过数据区输入位置信息，使样品台移动到指定位置。
选择不同的图像存储分辨率以及图像的冻结方式(手动形式、扫完整幅图片后积分次数或平均次数)。
关机
在完成观察后，按照设备说明书的指示正确关闭观察软件和设备。
二、维护保养
电子枪维护
扫描电镜电子枪有寿命限制，实验结束后应关闭电子枪以延长其寿命。
冷场发射扫描电镜电子枪需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing)，以去除所吸附的气体原子。
光阑维护
扫描电镜物镜的光阑离样品最近，工作状态下光阑处于加热状态，关掉光阑后需冷却半小时再关掉冷却循环水。
光阑使用一段时间后容易结碳，影响成像效果，此时需打开样品室清洁光阑。部分高配置仪器光阑具有自清洁功能。
真空系统维护
样品进入交换室前需仔细检查，确保没有易挥发的物质及未粘牢的粉末，以免破坏样品室的真空度。
磁性样品不可进入样品室以免破坏电磁透镜系统。
样品高度需严格控制，防止碰坏样品室的光学部件。
扫描电镜送样杆和交换室在换样品时经常暴露在大气中，易受到灰尘污染，降低真空密闭效果，因此需及时清洁，以防灰尘进入样品室的真空系统中污染光阑。可用丙酮擦干净送样杆和交换室的门以及密封圈，再在送样杆和密封圈上均匀涂上一层真空硅脂。
机械泵维护
经常检查扫描电镜机械泵的油液面，确保其液面在窗口油位刻线的水平上，若低于该水平应马上添加机械泵油。
若观察到机械泵窗口油颜色变深，应马上更换机械泵油。
机械泵出现故障需及时修理，并换上备用泵以保证真空度。
循环水系统维护
定期检查扫描电镜循环水状况，若水位低于警戒线应马上添加纯净水。
若循环水混浊变质应马上更换循环水，防止循环系统堵塞和结垢，影响水循环系统的工作效率。
设备清洁
定期对设备表面进行清洁，保持设备的整洁和卫生。
使用无尘布和酒精擦拭电镜表面，保持清洁。
记录与检查
定期检查设备的运行状态，确保设备正常运转。
对设备的维护情况进行记录，方便后期管理和维护。
请注意，上述操作技巧与维护保养指南仅供参考，具体使用时还需参考设备的手册和操作规程，并遵循安全操作规范。
