台式电镜SEM的维护保养方法主要包括冷却循环水系统、空气压缩机、机械泵、烘烤和机械对中等关键部件的维护。这些保养措施确保了SEM的性能和寿命，并防止了环境因素对其造成的不良影响。
-检查与记录：每月至少检查一次冷却循环水的水位，并及时补充。同时，每半年更换一次过滤网，并清洗冷却水。
-紧急处理：在发现泄漏或水位下降过快时，应立即停止使用SEM，并联系专业技术人员进行维修。
-排水与清洁：每半个月至少进行一次内部排水，以确保空气压缩机的正常运行。
-油雾收集器：当油雾收集器附着油液或有油烟时，需要立即停机更换油泵，并更换油。
-油雾收集器：机械泵的油雾收集器需每半年更换一次，当油变为茶色时，应立即更换机油。
-定期检查与维护：定期检查机械泵的运行状态，确保其无异常噪音或振动。
台式电镜SEM的工作原理：
电磁透镜用于聚焦电子束。通过特定设计的电极之间形成等势面曲线，可以对电子束进行精确聚焦，使其达到纳米级别的束斑直径。
扫描系统控制电子束在样品表面的逐行扫描，确保每个像素点都被覆盖。为了消除像散现象(即电子束在透镜磁场中偏离设计轨迹)，需要使用消像散器。消像散器通过调整磁场，使不同路径上的电子束重新会聚到一点，从而提高图像质量。
探测器收集电子与样品相互作用后产生的信号。常见的探测器包括闪烁体加光电倍增管、半导体探测器等。信号经放大器放大后输入显示器，形成图像。
-清洁与保养：定期清洁样品台以及探针，确保SEM获得清晰、准确的图像。
-检查与更换：检查样品台表面是否有残留物或污垢积聚，如有需要及时清理。同时，定期检查探针的工作状态，如有损坏或老化应及时更换。
-温度与湿度：实验室环境温度应长期维持在20~24°C之间，湿度保持在50%以下。这有助于防止设备受潮、腐蚀或其他不良影响。
-室内清洁：保持室内清洁卫生，严禁在室内喝水、饮食，以避免污染和损害设备。
