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2024/10/24 10:15:26
介电常数(Dielectric Permittivity)和磁导率(Permeability)是描述介电材料的电磁特性的主要参数。它们是随着频率、温度等参数变化的。介电常数的重要性在于,它是研究材料与电磁波相互作用时的核心参数之一。
例如,高介电常数材料是当前微电子行业热门的研究课题之一。它的应用为解决当前半导体器件尺寸缩小导致的栅氧层厚度极限问题提供了可能性,同时利用一些高介电常数材料具有的特殊物理特性,可实现具有特殊性能的新型器件。
而低介电常数材料的研究也在世界范围内展开,这些低介电常数材料需具备以下性质:在电性能方面,要有低损耗和低泄漏电流;在机械性能方面,要有高附着力和高硬度,否则外力将易于跨越材料的降伏强度,势必导致断线危机,进而破坏组件的运作;在化学性能方面,要能耐腐蚀和有低吸水性;在热性能方面,要有高稳定性和低收缩性。由于普遍采用的介电材料SiO2,已经不能满足超大规模集成电路(ULSI)发展的需求,所以多年来人们一直都在努力寻找各种合适的低介电常数材料。