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涡轮分子泵依靠隔膜技术实现前级真空

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2024/10/24 13:51:30


涡轮分子泵依靠隔膜技术实现前级真空


涡轮分子泵系统广泛应用于各种领域,包括质谱分析、泄漏检测和半导体制造。这些复杂的系统需要高真空才能有效运行,它们通过隔膜泵来达到这些真空度。在这些应用中,与其他类型的泵相比,隔膜泵技术具有多项优势。




涡轮分子泵如何工作?

涡轮分子泵利用旋转的金属涡轮叶片使气体分子通过一个腔室。分子流入泵的进气口,叶片将它们进一步推向腔体。然后对其进行压缩,再从排气口流出。涡轮分子泵需要在高真空条件下才能有效工作。它们通常依靠粗抽泵(有时称为前级泵)来产生真空。之所以需要如此低的真空度,是因为叶片的运动速度非常快,无法应对大气压下产生的空气摩擦。


涡轮分子泵在各种应用中都很常见。它们是质谱仪器的重要组成部分,有助于创造高真空环境,确保精确测量。它们在扫描电子显微镜中也起着类似的作用,因为在扫描电子显微镜中,也需要高真空的环境来进行高倍率分析。它们还用于泄漏检测和环境分析应用,以及同样需要高真空的半导体应用。



隔膜泵的巨大优势

隔膜泵常常被用作粗抽泵,为涡轮分子系统产生真空。如果没有足够高的真空,涡轮分子泵就无法有效运行。在某些情况下,它们根本无法启动。KNF 提供极限真空低至 0.5 mbar abs. 的隔膜泵。除了能够达到所需的预真空度外,与其他泵技术相比,它们还具有一些额外优势。


隔膜泵的真空度稳定,使用寿命长,维护成本低。它们无油运行,不会发生泵送介质交叉污染的可能。KNF 泵可配备直流无刷电机 (BLDC),可控制泵的运行速度,以及调节设置参数。这对于涡轮分子泵来说非常重要,因为这种泵需要快速启动,然后再减速到运行速度。隔膜泵还可配备气镇,用于有湿气的场合。KNF 泵可按任何方向安装和组装,还可选择 N 84 系列等便携式解决方案,以满足体积小、重量轻的要求。  




各种隔膜泵解决方案

KNF 为粗加工泵应用提供各种解决方案。N 952 可以快速对真空腔降压,同时保持最佳性能,直至最终真空。它可以达到 1.5 mbar abs.的最大真空度,同时提供 36 l/min 的最大流量。它有多种配置和电机可供选择,包括数字可调电机。


N 813 也是粗抽泵的理想选择,最大真空度可达 0.5 mbar abs.,最大流量为 13 l/min 。 它提供无污染的介质传输,防止关闭后的回流污染,同时还能防止流出的空气污染介质。N 813 还可配备可定制的电机,以满足粗加工泵应用所需的参数设置。


涡轮分子泵依靠隔膜技术实现前级真空

N 952

涡轮分子泵依靠隔膜技术实现前级真空

N 813







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