ACS200Gen3TE自动涂胶显影机SUSS MicroTec
ACS200Gen3TE自动涂胶显影机SUSS MicroTec
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ACS200 Gen3 TE涂胶显影机：产能的全自动平台
SUSS ACS200 Gen3 TE平台将ACS200 Gen3这款非常成功且市场熟知的产品提升到了一个新的高度。不仅在产能上有了显巨提高，在操作和维护上也更加舒适。SUSS ACS200 Gen3 TE能够提供非常灵活的模块和技术配置，以满足封装、MEMS、LED和其他市场的要求，并为研发和HVM提供服务。
介绍：
基础框架经过重新设计，可配置多达6个旋转工艺模块，并可在这些模块上方配置冷热板组。此外，动态对中（IMOC）功能的引入，即晶圆传送时的“动态”定心，进一步提高了整体产能。
为了满足的ESD标准，并为操作员和技术人员提供更高的舒适度，该平台已经进行更新。第二屏幕可根据个人需要进行配置，可以用来显示摄像头以及设备/模块的状态，并且可以处理测量数据。外围配套设备也得到了显著改进，特别是新推出的Flexi Media Cabinet，整洁、标准化程度高。
由于采用PiXDRO技术的SUSS JETx喷墨模块已集成到该平台中，使得该平台支持下一代材料沉积技术，且仍具有添加其他模块的能力。同时，已经引入了标准制造接口（SMIF）加载端口。此外，流量控制器系统为有机溶剂和显影工艺应用提供了非常出色的喷液精度。
ACS200 Gen3 TE平台将继续提供的敞开式腔体涂布和SUSS专有的GYRSET?闭盖式涂布技术。广为接受的腔体设计将保持不变，因此能够实现将工艺从之前的平台到现在的轻松转移。
亮点：
多达6个旋转工艺模块
采用动态对中(IMOC)提高晶圆传送效率
超高的配置灵活性
可实现自动化系统的喷墨技术
操作舒适性高
标准制造接口(SMIF)负载端口
详细情况 : 显影工艺
浸置式显影
喷雾显影
在此工艺中，一定量的显影剂被滴在曝光后的衬底上，并通过适度的旋转分散开。 显影液因其表面张力在晶圆上形成凸状的液面（“Puddle”）。 当显影时间结束后，通过提高旋转速度甩干晶圆上的显影液。 然后，用去离子水冲洗晶圆并同样提高转速甩干。 这种方法的优点是，只需使用少量显影液，就能提供优异的显影结果。
浸置式显影法不得用于显影液达到饱和时，例如当必须除去大量显影后的光刻胶时或者凹凸图形阻碍了更换显影液时。 在这些情况下，需多步使用浸置式显影或者使用喷涂式显影 。
德国SUSS MicroTec主要产品：
一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机：
自动涂胶机与显影机：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自动涂胶与显影机：RCD8、ECD8
手动涂胶机与显影机：LabSpin6 / LabSpin8
二、喷墨打印机
JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机
三、光刻机
全自动：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自动：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手动：MJB4
四、测量系统
全自动:DSM8/200 Gen2
五、晶圆结合系统
全自动：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自动： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模设备
全自动：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自动：HMx Serie
七、投影扫描光刻机
全自动：DSC300 Gen3
其他代理品牌汇总：韩国TRATOM、韩国GYROZEN、韩国inp、韩国Waveon、韩国Nasan
代理韩国TRATOM主要产品有 ：
压阻式硅压力传感器、通用压力表、压力变送器、温度传感器、耐酸压力变送器、差压式压力表、充汞温度计、压力仪表、防爆接点压力表、气体登记备用设备、温度传感器、压阻式陶瓷压力传感器
TRATOM常用型号:
MSP1000-PE-MF3/8-8K-D24、MSP-5000-PE-RP1/4-10K-D24、MSP-1000-PE-MF1/4-5K-D24、MSP1000-PE-MF1/2-8K-D2、MSP2000-PE-MF1/4-8K-D24、MSP-102，MSP-2000、MSI-MSP-2000
TRATOM主要型号：
一、通用压力变送器
MSP-102、MSP-102D、MSP-102S、MSP-103、MSP-202、MSP-302、MSP-302D、MSP-310、
MSP-320、MSP-330、MSP-501、MSP-502、MSP-503、MSP-504、MSP-702、MSP-802
二、耐酸压力变送器
MSP-1000、MSP-1010、MSP-1000-H、MSP-1000S、MSP-2000、MSP-2010、MSP-2000-H、MSP-3000、
MSP-3100、MSP-4000、MSP-4000S、MSP-5000TP、MSP-6000、MSP-2000、MSP-7010
三、半导体气体用途压力变送器
MSP-102-EX、MSP-5000
四、温度传感器
PT100、K-Type、MST-202、MST-501、MST-502、MST-702
五、压力记录仪
压力记录仪、MS-MANO100(数字压力记录仪)
六、ETC
MS-pH100、MS-PL100
韩国DAIHAN：
安全柜、生物安全柜、冰箱、冰柜、干燥柜、通风柜、冷水机、冷却循环器、离心机、超净工作台、PCR工作站、浴缸循环器、浴槽、蒸发器、冷冻干燥系统、熔炉、
加热块/干浴培养箱、加热循环器、加热套玻璃、实验室器皿清洗机、均质机、电炉搅拌器、电炉、放大镜、磨机、烤箱、搅拌器灭菌器，医疗用途、粘度计
韩国DAIHAN主营产品型号：
4~45℃ 20L迷你低温培养箱；SL.Wat205柜厨式蒸馏水器；
WVB-30；DH.WHM12141；DH.WWP.RO280；高温循环器：CH-8、CH-12、CH-22、CH-30；
WUF-11/21/31/41/51超低温冰箱；WIS-10/10R/10RL恒温振荡培养箱；WIG-32/50/105/155；WVT-0.33M风速计；
HD-1200G通风柜；LWQ流量计；DH.SWGC00450光照培养箱DH.WHM12141电热套；DH.WGW0400；
DH.Frd00216冷冻干燥机；DH.WHD02521通风柜、DH.WLCV1500洁净台、FD-8/FD-16冷冻干燥机;HD-1200G通风柜；
LWQ流量计；HB-R48套装-干式恒温器；
韩国GYROZEN：
一、离心机
微型离心机：1730R、1848R、1536、1524
高速离心机：1696R、1580R、1580、1248R、1248
落地式高速离心机：2236R、1736R、1236R
极速离心机：624R、416、406
二、离心浓缩机：
离心式真空浓缩器：VC2124、VC2200
冷冻干燥机：HC3110、HC3055
干式吹扫蒸发浓缩器：HyperVAP
三、二氧化碳培养箱：ARA P170
四、深层冷冻柜：ARA M系列
五、搅拌机和摇床：
ARA D-MS2、ARA D-VM2、ARA D-RT6、
ARA D-R8、ARA D-SD、ARA D-ST、ARA D-SR、ARA D-SO
