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AD12手动显影机德国SUSS MicroTec

深圳诸夏科技有限公司

2024/10/30 17:24:19

AD12手动显影机德国SUSS MicroTec

AD12手动显影机德国SUSS MicroTec

详询请致电:吴工 132,4667.5433


介绍:

AD12系统可以满足所有的喷淋显影技术的需求,可用于直径12英寸的圆片和9英寸×9英寸的方形基片和掩模。

也可以选装晶圆清洗模块。

亮点:

凭借多样的喷液技术,在工艺通用性方面表现出色

专为水基工艺而设计

高安全性标准

介绍:

一、灵活性

AD12通过使用优化的卡盘能够处理许多不同种类的基材,从而展示了其多功能性。即使是脆弱的基材(如InP、GaAs)也能被安全地处理。特殊的工具和广泛的易于调整的工艺参数使AD12适用于许多涉及水介质的工艺应用。由于能够对参数进行编程,如步进时间、旋转速度、加速和减速、点胶臂位置和旋转运动,该系统可以优化工艺流程,从而获得可重复的、稳定的工艺结果。AD12配备了SUSS MicroTec公司的点胶技术,有效地支持开发和清洗。

二、复杂的喷点技术

AD12为不同的工艺需求提供了广泛的喷点技术。可以运行多种工艺:从简单的水坑或喷雾显影,到需要浸泡和最后冲洗的水坑点胶,再到需要高压将抗蚀剂和金属升起的升华。上述所有的喷点技术都可以在AD12的喷点臂上配置。

三、智能溶剂型介质系统

AD12是为处理水基介质的特殊需求而定制的。所有与工艺化学品接触的部件都由不易受影响的材料制成。排水口可以连接到室内排水口或废物罐。

介质被安全地储存在配备有排气接口的介质库中,并由渗漏检测器加以保护。流量控制系统和压力调节器管理介质。可以选择控制介质温度,以确保工艺效果。可以安装介质的再循环系统,以减少整个介质的消耗。

四、操作简单、安全

AD12易于操作和维护。只需按下一个按钮,就可以调用工艺参数和介质数据。可编程的配方加速了工作流程,促进了重复性。所有部件都很容易接触到,以方便操作和维护工具。此外,该工具的设计主要侧重于操作员的安全。带有自动安全玻璃门的密封工艺室确保了封闭的工艺环境,便于对工艺进行监控。联锁传感器保证了工具的安全运行。

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德国SUSS MicroTec主要产品:

一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机:

自动涂胶机与显影机:ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE

半自动涂胶与显影机:RCD8、ECD8

手动涂胶机与显影机:LabSpin6 / LabSpin8

二、喷墨打印机

JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机

三、光刻机

全自动:MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2

半自动:MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series

手动:MJB4

四、测量系统

全自动:DSM8/200 Gen2

五、晶圆结合系统

全自动:XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200

半自动: BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8

六、光掩模设备

全自动:MaskTrack Pro系列、ASx Serie

半自动:HMx Serie

七、投影扫描光刻机

全自动:DSC300 Gen3

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其他代理品牌汇总:韩国TRATOM、韩国GYROZEN、韩国inp、韩国Waveon、韩国Nasan

代理韩国TRATOM主要产品有 :

压阻式硅压力传感器、通用压力表、压力变送器、温度传感器、耐酸压力变送器、差压式压力表、充汞温度计、压力仪表、防爆接点压力表、气体登记备用设备、温度传感器、压阻式陶瓷压力传感器

TRATOM常用型号:

MSP1000-PE-MF3/8-8K-D24、MSP-5000-PE-RP1/4-10K-D24、MSP-1000-PE-MF1/4-5K-D24、MSP1000-PE-MF1/2-8K-D2、MSP2000-PE-MF1/4-8K-D24、MSP-102,MSP-2000、MSI-MSP-2000

TRATOM主要型号:

一、通用压力变送器

MSP-102、MSP-102D、MSP-102S、MSP-103、MSP-202、MSP-302、MSP-302D、MSP-310、

MSP-320、MSP-330、MSP-501、MSP-502、MSP-503、MSP-504、MSP-702、MSP-802

二、耐酸压力变送器

MSP-1000、MSP-1010、MSP-1000-H、MSP-1000S、MSP-2000、MSP-2010、MSP-2000-H、MSP-3000、

MSP-3100、MSP-4000、MSP-4000S、MSP-5000TP、MSP-6000、MSP-2000、MSP-7010

三、半导体气体用途压力变送器

MSP-102-EX、MSP-5000

四、温度传感器

PT100、K-Type、MST-202、MST-501、MST-502、MST-702

五、压力记录仪

压力记录仪、MS-MANO100(数字压力记录仪)

六、ETC

MS-pH100、MS-PL100

韩国DAIHAN:

安全柜、生物安全柜、冰箱、冰柜、干燥柜、通风柜、冷水机、冷却循环器、离心机、超净工作台、PCR工作站、浴缸循环器、浴槽、蒸发器、冷冻干燥系统、熔炉、

加热块/干浴培养箱、加热循环器、加热套玻璃、实验室器皿清洗机、均质机、电炉搅拌器、电炉、放大镜、磨机、烤箱、搅拌器灭菌器,医疗用途、粘度计

韩国DAIHAN主营产品型号:

4~45℃ 20L迷你低温培养箱;SL.Wat205柜厨式蒸馏水器;

WVB-30;DH.WHM12141;DH.WWP.RO280;高温循环器:CH-8、CH-12、CH-22、CH-30;

WUF-11/21/31/41/51超低温冰箱;WIS-10/10R/10RL恒温振荡培养箱;WIG-32/50/105/155;WVT-0.33M风速计; 

HD-1200G通风柜;LWQ流量计;DH.SWGC00450光照培养箱DH.WHM12141电热套;DH.WGW0400;

DH.Frd00216冷冻干燥机;DH.WHD02521通风柜、DH.WLCV1500洁净台、FD-8/FD-16冷冻干燥机;HD-1200G通风柜;

LWQ流量计;HB-R48套装-干式恒温器;

韩国GYROZEN:

一、离心机

微型离心机:1730R、1848R、1536、1524

高速离心机:1696R、1580R、1580、1248R、1248

落地式高速离心机:2236R、1736R、1236R

极速离心机:624R、416、406

二、离心浓缩机:

离心式真空浓缩器:VC2124、VC2200

冷冻干燥机:HC3110、HC3055

干式吹扫蒸发浓缩器:HyperVAP

三、二氧化碳培养箱:ARA P170

四、深层冷冻柜:ARA M系列

五、搅拌机和摇床:

ARA D-MS2、ARA D-VM2、ARA D-RT6、

ARA D-R8、ARA D-SD、ARA D-ST、ARA D-SR、ARA D-SO













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