AD12手动显影机德国SUSS MicroTec
AD12手动显影机德国SUSS MicroTec
详询请致电：吴工 132，4667.5433
介绍：
AD12系统可以满足所有的喷淋显影技术的需求，可用于直径12英寸的圆片和9英寸×9英寸的方形基片和掩模。
也可以选装晶圆清洗模块。
亮点：
凭借多样的喷液技术，在工艺通用性方面表现出色
专为水基工艺而设计
高安全性标准
介绍：
一、灵活性
AD12通过使用优化的卡盘能够处理许多不同种类的基材，从而展示了其多功能性。即使是脆弱的基材（如InP、GaAs）也能被安全地处理。特殊的工具和广泛的易于调整的工艺参数使AD12适用于许多涉及水介质的工艺应用。由于能够对参数进行编程，如步进时间、旋转速度、加速和减速、点胶臂位置和旋转运动，该系统可以优化工艺流程，从而获得可重复的、稳定的工艺结果。AD12配备了SUSS MicroTec公司的点胶技术，有效地支持开发和清洗。
二、复杂的喷点技术
AD12为不同的工艺需求提供了广泛的喷点技术。可以运行多种工艺：从简单的水坑或喷雾显影，到需要浸泡和最后冲洗的水坑点胶，再到需要高压将抗蚀剂和金属升起的升华。上述所有的喷点技术都可以在AD12的喷点臂上配置。
三、智能溶剂型介质系统
AD12是为处理水基介质的特殊需求而定制的。所有与工艺化学品接触的部件都由不易受影响的材料制成。排水口可以连接到室内排水口或废物罐。
介质被安全地储存在配备有排气接口的介质库中，并由渗漏检测器加以保护。流量控制系统和压力调节器管理介质。可以选择控制介质温度，以确保工艺效果。可以安装介质的再循环系统，以减少整个介质的消耗。
四、操作简单、安全
AD12易于操作和维护。只需按下一个按钮，就可以调用工艺参数和介质数据。可编程的配方加速了工作流程，促进了重复性。所有部件都很容易接触到，以方便操作和维护工具。此外，该工具的设计主要侧重于操作员的安全。带有自动安全玻璃门的密封工艺室确保了封闭的工艺环境，便于对工艺进行监控。联锁传感器保证了工具的安全运行。
德国SUSS MicroTec主要产品：
一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机：
自动涂胶机与显影机：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自动涂胶与显影机：RCD8、ECD8
手动涂胶机与显影机：LabSpin6 / LabSpin8
二、喷墨打印机
JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机
三、光刻机
全自动：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自动：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手动：MJB4
四、测量系统
全自动:DSM8/200 Gen2
五、晶圆结合系统
全自动：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自动： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模设备
全自动：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自动：HMx Serie
七、投影扫描光刻机
全自动：DSC300 Gen3
其他代理品牌汇总：韩国TRATOM、韩国GYROZEN、韩国inp、韩国Waveon、韩国Nasan
代理韩国TRATOM主要产品有 ：
压阻式硅压力传感器、通用压力表、压力变送器、温度传感器、耐酸压力变送器、差压式压力表、充汞温度计、压力仪表、防爆接点压力表、气体登记备用设备、温度传感器、压阻式陶瓷压力传感器
TRATOM常用型号:
MSP1000-PE-MF3/8-8K-D24、MSP-5000-PE-RP1/4-10K-D24、MSP-1000-PE-MF1/4-5K-D24、MSP1000-PE-MF1/2-8K-D2、MSP2000-PE-MF1/4-8K-D24、MSP-102，MSP-2000、MSI-MSP-2000
TRATOM主要型号：
一、通用压力变送器
MSP-102、MSP-102D、MSP-102S、MSP-103、MSP-202、MSP-302、MSP-302D、MSP-310、
MSP-320、MSP-330、MSP-501、MSP-502、MSP-503、MSP-504、MSP-702、MSP-802
二、耐酸压力变送器
MSP-1000、MSP-1010、MSP-1000-H、MSP-1000S、MSP-2000、MSP-2010、MSP-2000-H、MSP-3000、
MSP-3100、MSP-4000、MSP-4000S、MSP-5000TP、MSP-6000、MSP-2000、MSP-7010
三、半导体气体用途压力变送器
MSP-102-EX、MSP-5000
四、温度传感器
PT100、K-Type、MST-202、MST-501、MST-502、MST-702
五、压力记录仪
压力记录仪、MS-MANO100(数字压力记录仪)
六、ETC
MS-pH100、MS-PL100
韩国DAIHAN：
安全柜、生物安全柜、冰箱、冰柜、干燥柜、通风柜、冷水机、冷却循环器、离心机、超净工作台、PCR工作站、浴缸循环器、浴槽、蒸发器、冷冻干燥系统、熔炉、
加热块/干浴培养箱、加热循环器、加热套玻璃、实验室器皿清洗机、均质机、电炉搅拌器、电炉、放大镜、磨机、烤箱、搅拌器灭菌器，医疗用途、粘度计
韩国DAIHAN主营产品型号：
4~45℃ 20L迷你低温培养箱；SL.Wat205柜厨式蒸馏水器；
WVB-30；DH.WHM12141；DH.WWP.RO280；高温循环器：CH-8、CH-12、CH-22、CH-30；
WUF-11/21/31/41/51超低温冰箱；WIS-10/10R/10RL恒温振荡培养箱；WIG-32/50/105/155；WVT-0.33M风速计；
HD-1200G通风柜；LWQ流量计；DH.SWGC00450光照培养箱DH.WHM12141电热套；DH.WGW0400；
DH.Frd00216冷冻干燥机；DH.WHD02521通风柜、DH.WLCV1500洁净台、FD-8/FD-16冷冻干燥机;HD-1200G通风柜；
LWQ流量计；HB-R48套装-干式恒温器；
韩国GYROZEN：
一、离心机
微型离心机：1730R、1848R、1536、1524
高速离心机：1696R、1580R、1580、1248R、1248
落地式高速离心机：2236R、1736R、1236R
极速离心机：624R、416、406
二、离心浓缩机：
离心式真空浓缩器：VC2124、VC2200
冷冻干燥机：HC3110、HC3055
干式吹扫蒸发浓缩器：HyperVAP
三、二氧化碳培养箱：ARA P170
四、深层冷冻柜：ARA M系列
五、搅拌机和摇床：
ARA D-MS2、ARA D-VM2、ARA D-RT6、
ARA D-R8、ARA D-SD、ARA D-ST、ARA D-SR、ARA D-SO
