SUSS MicroTec全自动光刻机MA200 Gen3掩模对准机
SUSS MicroTec全自动光刻机MA200 Gen3掩模对准机
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MA200 Gen3 掩模对准机
应用广泛的对准和曝光工艺
MA200 3代光刻机专为大批量生产而设计，适用于200毫米以下晶圆和方形衬底的自动化加工。本系统集全场光刻技术与多种创新功能于一身。使其成为众多应用的系统，例如生产厚胶工艺MEMS、有凹凸图形的 3D 结构以及封装应用，如3D封装、扇出封装、凸点封装及化合物半导体和图像传感器。
MA200 3代提供适应众多生产过程的智能化解决方案。多样化的对准方案、灵活可调的镜头系统和特殊附加选项使本系统成为的处理各种不同工艺的设备。
高度自动化且切实节省宝贵的处理时间。这也体现在细节方面，例如选择自动更换滤光片，以便维持低运营成本。
MA200 3 代在设计方面着重凸出用户友好性。如可调节高度的显示器、符合人体工程学的I / O接口、连续运行期间更换晶圆盒和直接观看曝光模块等特性大大简化了设备操作，即使是在高负荷工作时。凭借其广泛的附加选项，第 3 代 MA200 很容易就能达到特种光刻工艺的要求。
亮点：
工艺稳定性
厚胶加工性能
灵活应用于各种工艺
一、对准技术
顶面对准、背面对准、红外对准、顶面对准（TSA）
在光刻工艺中，只需对准器件晶圆同侧的结构（例如再布线层、微凸点 等），用顶部对准功能将掩模位置标记对准晶圆位置标记。 根据衬底的特性，这可以用存储的晶圆位置数据或者用两个现场照片 、SUSS MicroTec 开发的DirectAlign? 直接对准技术实现。
二、自动化
自动切换滤光片、楔形误差补偿(WEC)、自动对准
光刻机可选择提供一个自动切换滤光片装置，最多可以安装四个滤光片，通过工艺菜单选择。这避免了操作者更换滤光片时出错的风险，从而提高了产量和有效产量。
德国SUSS MicroTec主要产品：
一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机：
自动涂胶机与显影机：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自动涂胶与显影机：RCD8、ECD8
手动涂胶机与显影机：LabSpin6 / LabSpin8
二、喷墨打印机
JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机
三、光刻机、掩模对准机
全自动：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自动：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手动：MJB4
四、测量系统
全自动:DSM8/200 Gen2
五、晶圆结合系统
全自动：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自动： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模设备
全自动：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自动：HMx Serie
七、投影扫描光刻机
全自动：DSC300 Gen3
其他代理品牌汇总：韩国TRATOM、韩国GYROZEN、韩国inp、韩国Waveon、韩国Nasan
代理韩国TRATOM主要产品有 ：
压阻式硅压力传感器、通用压力表、压力变送器、温度传感器、耐酸压力变送器、差压式压力表、充汞温度计、压力仪表、防爆接点压力表、气体登记备用设备、温度传感器、压阻式陶瓷压力传感器
TRATOM常用型号:
MSP1000-PE-MF3/8-8K-D24、MSP-5000-PE-RP1/4-10K-D24、MSP-1000-PE-MF1/4-5K-D24、MSP1000-PE-MF1/2-8K-D2、MSP2000-PE-MF1/4-8K-D24、MSP-102，MSP-2000、MSI-MSP-2000
TRATOM主要型号：
一、通用压力变送器
MSP-102、MSP-102D、MSP-102S、MSP-103、MSP-202、MSP-302、MSP-302D、MSP-310、
MSP-320、MSP-330、MSP-501、MSP-502、MSP-503、MSP-504、MSP-702、MSP-802
二、耐酸压力变送器
MSP-1000、MSP-1010、MSP-1000-H、MSP-1000S、MSP-2000、MSP-2010、MSP-2000-H、MSP-3000、
MSP-3100、MSP-4000、MSP-4000S、MSP-5000TP、MSP-6000、MSP-2000、MSP-7010
三、半导体气体用途压力变送器
MSP-102-EX、MSP-5000
四、温度传感器
PT100、K-Type、MST-202、MST-501、MST-502、MST-702
五、压力记录仪
压力记录仪、MS-MANO100(数字压力记录仪)
六、ETC
MS-pH100、MS-PL100
韩国DAIHAN：
安全柜、生物安全柜、冰箱、冰柜、干燥柜、通风柜、冷水机、冷却循环器、离心机、超净工作台、PCR工作站、浴缸循环器、浴槽、蒸发器、冷冻干燥系统、熔炉、
加热块/干浴培养箱、加热循环器、加热套玻璃、实验室器皿清洗机、均质机、电炉搅拌器、电炉、放大镜、磨机、烤箱、搅拌器灭菌器，医疗用途、粘度计
韩国DAIHAN主营产品型号：
4~45℃ 20L迷你低温培养箱；SL.Wat205柜厨式蒸馏水器；
WVB-30；DH.WHM12141；DH.WWP.RO280；高温循环器：CH-8、CH-12、CH-22、CH-30；
WUF-11/21/31/41/51超低温冰箱；WIS-10/10R/10RL恒温振荡培养箱；WIG-32/50/105/155；WVT-0.33M风速计；
HD-1200G通风柜；LWQ流量计；DH.SWGC00450光照培养箱DH.WHM12141电热套；DH.WGW0400；
DH.Frd00216冷冻干燥机；DH.WHD02521通风柜、DH.WLCV1500洁净台、FD-8/FD-16冷冻干燥机;HD-1200G通风柜；
LWQ流量计；HB-R48套装-干式恒温器；
韩国GYROZEN：
一、离心机
微型离心机：1730R、1848R、1536、1524
高速离心机：1696R、1580R、1580、1248R、1248
落地式高速离心机：2236R、1736R、1236R
极速离心机：624R、416、406
二、离心浓缩机：
离心式真空浓缩器：VC2124、VC2200
冷冻干燥机：HC3110、HC3055
干式吹扫蒸发浓缩器：HyperVAP
三、二氧化碳培养箱：ARA P170
四、深层冷冻柜：ARA M系列
五、搅拌机和摇床：
ARA D-MS2、ARA D-VM2、ARA D-RT6、
ARA D-R8、ARA D-SD、ARA D-ST、ARA D-SR、ARA D-SO
