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扫描电子显微镜(SEM)的工作原理

广州市明美光电技术有限公司

2024/11/8 9:42:05
  扫描电子显微镜(SEM)是一种高分辨率的分析工具,能够对样品表面进行详细观察和成分分析。与光学显微镜相比,SEM可以提供更高的放大倍率和更清晰的图像,因此广泛应用于材料科学、生物学、纳米技术等多个领域。
 
  ZEM15台式扫描电子显微镜扫描速度快,信号采集带宽10M,可以在视频模式下流畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成所有操作,不需对中光阑等复杂步骤,聚焦消像散后可直接拍图。主机集成高压及控制系统,体积小巧,便于移动,可出差携带,安装无需特殊环境,只需找一张桌子,供电就可工作。
 
  工作原理:
 
  1.电子束发射:SEM使用电子枪(通常是热发射或场发射电子枪)产生细束电子,这些电子会被加速并聚焦到样品表面。
 
  2.激发信号:当电子束撞击样品时,将导致样品表面的原子释放出不同类型的信号,包括二次电子、反向散射电子和特征X射线。
 
  二次电子:来自样品表面的低能量电子,主要用于获取表面形貌信息。
 
  反向散射电子:返回的高能量电子,提供关于样品组成的信息。
 
  X射线:由样品原子在受到轰击后发出的特征X射线,用于元素分析。
 
  3.信号检测:收集这些信号通过探测器进行处理,并将其转换为图像或其他数据。
 
  扫描电子显微镜是一项强大的科研工具,能够揭示样品的微观世界。正确的操作与维护能够确保获得高质量的数据,促进各个领域的研究和开发。

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