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质量流量控制器 | 实时压力和温度补偿

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2024/11/11 10:40:48

各种外部因素会影响质量流量控制器的测量精度和控制稳定性。压力和温度控制中常见的挑战是什么?如何解决呢?


实时压力和温度补偿是解决方法之一。工艺过程的效率和产量需要稳定的气体流量。气体流量可通过热式质量流量控制器进行测量和控制。


温度和压力补偿的挑战

外部因素包括:

l 温度波动

l 压力波动


波动可能由于气瓶中的压力降低或多个流量控制器之间的串扰而发生。Bronkhorst如何解决此类问题?有什么解决方案吗?


质量流量控制器串扰

什么是串扰?串扰通常出现于多个质量流量控制器紧挨放置在同一管道中,或安装在同一导轨或框架上的情况。气体调节器的管路压力受流量控制器的流量需求影响。当流量仪表改变其设定值,管路压力会受影响。由于压力变化,传统流量控制器的流量测量部分受到影响,表明流量测量不正确,不能显示通过MFC的实际流量。


流量控制器的标称流量越小,对较大、并联安装的MFC的设定值变化影响越大。


静态压力补偿和动态压力补偿有什么区别?

静态压力补偿是对缓慢压力变化的补偿,例如气缸压力的缓慢降低。通过集成压力变送器到质量流量控制器上,结合转换算法,可实时计算实际流体物性。热传导测量计算中使用了密度、粘度、热导率和热容。在压力和温度的影响下,此类物性会发生变化。因而可测量和处理实际温度和压力,实现准确的流量测量和稳定的流量控制。


质量流量控制器 | 实时压力和温度补偿


动态压力补偿是对快速压力变化的补偿。当同一供应管线上的较大流量质量流量控制器更改设定值时,就可能发生这种情况,该不良影响也称为串扰。当压力传感器识别到这些快速的压力变化时,将相应地调整阀门控制,以保持流量稳定。


通过换算实现稳定的流量控制

转换算法可实现预存流体和100种机载气体中一种的换算(多流体多量程功能)。

实际测得的温度和压力用于转换模型,补偿过程条件的变化,带来更可靠和准确的转换和稳定控制。

质量流量控制器 | 实时压力和温度补偿

简单装置包含质量流量控制器“压力不敏感型”


质量流量控制器 | 压力不敏感型

您是否需要用于小流量的压力不敏感型质量流量控制器EL-FLOW Prestige


质量流量控制器 | 实时压力和温度补偿


优势 | 使用实时压力和温度补偿

l 首先,改进准确的流量测量和控制,可带来优化和更恒定的过程条件,从而提高过程产量。

l 其次,易于安装,因为无需订购精确满足工艺条件的仪表。

l 第三,由于管路压力对仪表精度和控制稳定性的影响降低,对元件精度需求降低甚至可减少管线中的元件配置,从而降低成本。


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