Simco-Ion 5511数字天花板发射器室电离系统的资料
具有好的控制和保护水平的吊顶发射器室电离系统
Simco-Ion 的 5511 型数字天花板发射器室电离系统旨在在整个洁净室的开放区域提供均匀的电离。该系统可以通过 5511 型和 5580/5520 型控制器之间的双向通信对单个发射器进行集中控制，或者使用 5570 型手持式红外 （IR） 遥控器对天花板发射器进行直接现场编程。
全数字技术
双向红外遥控器，带字母数字 LCD 显示屏，用于发射器调整
提供单晶硅发射极点
脉冲关闭时间可分离正离子云和负离子云
与同一控制器上的 5585 AeroBars 集成
Addressable emitters （可寻址发射器）
脉冲极性同步
控制器型号 5520/5580
Simco-Ion 的 5520 和 5580 型数字控制器控制和监控参数和离子发生器性能。较小的 5520 型最多可容纳 20 个发射器，使集成在工艺工具或小房间配置中变得简单方便。较大的 5580 型可处理大容量系统，支持多达 80 个电离器，以实现整个空间和工具电离覆盖。
| 输入电压 | 24 VAC，50/60 Hz，1W（典型值） |
|---|---|
| 离子发射 | 脉冲直流、稳态直流或待机 |
| 发射 | 单晶硅或机加工钛;更换 |
| 洁净室类 | 单晶硅，ISO 14644-1 1 类 钛，ISO 14644-1 3 类 |
| 发射杆 | 2.5、5、10、15、24、36、60 英寸（6.4、12.7、253.4、38.1、61.0、91.4、152.4 厘米） |
| 尺寸 | 1.2 英寸（高）x 1.4 英寸（宽）x 17.5 英寸（长）。（3.1 x 3.6 x 44.5 厘米） |
| 重量 | 1.03 磅（0.465 千克） |
