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用于太阳能电池等各种制造设备的压力监测用压力计CCMT-D系列介绍

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2024/11/12 10:51:27

用于太阳能电池等各种制造设备的压力监测用压力计CCMT-D系列介绍

CCMT-D系列是电容式压力计,其陶瓷膜片因气压变化而变形,并通过电容的变化来检测压力。传感器部分采用陶瓷制成的一体化结构,因此具有优异的再现性和稳定性,无论何种气体(绝对压力表),都可以精确测量低真空和中真空区域的压力。

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目的

  • 用于薄膜沉积设备过程中的压力监测

  • 用于真空熔炼、真空热处理炉等真空排气系统的压力监测。

  • 用于太阳能电池等各种制造设备的压力监测

特征

  • 长期稳定

  • 由于使用陶瓷膜,具有优异的耐腐蚀性

  • 内置温度补偿电路型

  • 新采用的结构可保护传感器免受污垢影响

  • 可通过按钮进行零点调整

规格

模型CCMT-D
测量
满量程
CCMT-1000D133kPa 满量程
CCMT-100D13.3kPa满量程
CCMT-10D1.33kPa满量程
CCMT-1D133Pa 满量程
解决整个案例为 0.003%
准确度*1±0.2%示值
±温度系数
温度系数零电压0.005%FS/℃
量程电压0.01% R/℃
工作温度范围10~50℃
响应速度30毫秒或更短
气体接触材料Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3
输入功率DC14~30V,1W
输出直流0~10VF.S
大量的329g(直径12.7/标准型)
外形尺寸直径55mm x 117mm(直径12.7mm,标准型)
配件标准:直径12.7管材
选项:NW16KF、Cajon 8VCR
温度补偿内置温度补偿电路
输入/输出连接器D-sub 15 针公头
*1:打开电源2小时后,工作环境温度为25℃。
*2:18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe
*3:28%镍、23%钴、49%铁


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