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2024/11/12 10:51:27用于太阳能电池等各种制造设备的压力监测用压力计CCMT-D系列介绍
CCMT-D系列是电容式压力计,其陶瓷膜片因气压变化而变形,并通过电容的变化来检测压力。传感器部分采用陶瓷制成的一体化结构,因此具有优异的再现性和稳定性,无论何种气体(绝对压力表),都可以精确测量低真空和中真空区域的压力。
用于薄膜沉积设备过程中的压力监测
用于真空熔炼、真空热处理炉等真空排气系统的压力监测。
用于太阳能电池等各种制造设备的压力监测
长期稳定
由于使用陶瓷膜,具有优异的耐腐蚀性
内置温度补偿电路型
新采用的结构可保护传感器免受污垢影响
可通过按钮进行零点调整
模型 | CCMT-D | ||
测量 满量程 | CCMT-1000D | 133kPa 满量程 | |
CCMT-100D | 13.3kPa满量程 | ||
CCMT-10D | 1.33kPa满量程 | ||
CCMT-1D | 133Pa 满量程 | ||
解决 | 整个案例为 0.003% | ||
准确度*1 | ±0.2%示值 ±温度系数 | ||
温度系数 | 零电压 | 0.005%FS/℃ | |
量程电压 | 0.01% R/℃ | ||
工作温度范围 | 10~50℃ | ||
响应速度 | 30毫秒或更短 | ||
气体接触材料 | Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3 | ||
输入功率 | DC14~30V,1W | ||
输出 | 直流0~10VF.S | ||
大量的 | 329g(直径12.7/标准型) | ||
外形尺寸 | 直径55mm x 117mm(直径12.7mm,标准型) | ||
配件 | 标准:直径12.7管材 选项:NW16KF、Cajon 8VCR | ||
温度补偿 | 内置温度补偿电路 | ||
输入/输出连接器 | D-sub 15 针公头 |
*1:打开电源2小时后,工作环境温度为25℃。 |
*2:18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe |
*3:28%镍、23%钴、49%铁 |