显微镜自动对焦：用于设备设计的主动式与被动式方法-化工仪器网-手机版

Evident向基于显微镜的成像系统制造商供应超多规格的物镜以及其他光学部件，为设备和仪器设计者提供支持。这些组件能帮助工程师们轻松有效地设计高质量的光学检测设备。

此类设计方案的一个重要组成部分是主动式自动对焦技术。当该技术与显微镜的电动Z轴——机械装置、照明系统、物镜和/或数码相机结合使用时，便可实现自动对焦。这些装置使用主动式方法对焦样本，让光学检测系统设计受益良多。

这篇文章将深入探讨主动式自动对焦方法——了解它是什么，比较它与其他方法的优劣，并探究它对于光学检测设备设计（如半导体检测）的主要优势。

显微镜的自动对焦方法对比：主动式与被动式

一般来说，有两种类型的自动对焦系统：

主动式系统将来自专用自动对焦光源的光照射到样本上，并根据返回的光进行对焦。该技术适用于样本缺乏对比度的高级检测系统，如平板和裸晶圆检测系统。主动式自动对焦技术也有不同的类型。瞳孔分离系统允许在不将样本（移动到初始焦点平面上方或下方的情况下检测焦点方向，从而使对焦快速且易于跟踪。在单点自动对焦系统中，焦点位于样本表面的视场中心。
被动系统使用观察到的图像进行对焦。这种技术（图1）通常被称为图像对比法。在被动式方法中，难以确定对焦方向，因此必须在Z方向上下移动载物台以检测样本对比度的增加或减少。这会减慢对焦速度，并使人难以掌握对焦情况。然而，这种方法的优点是价格相对便宜。