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倾斜传感器原理

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2024/11/12 15:42:42

倾斜传感器是一种通过在物体倾斜时产生电输出来检测物体倾斜的装置。由于倾斜可能沿一轴、二轴和三轴发生,因此根据要检测的倾斜轴的数量选择倾斜传感器非常重要。


此外,近年来,倾斜传感器已从常用的在检测到倾斜时打开和关闭的开关型传感器转变为结合传感技术的传感器。倾斜传感器的倾斜检测方法包括电解质型和MEMS型,这两种方法从一开始就被使用。近年来,MEMS方法在精度和响应时间方面已成为主流。


1.电解质倾斜传感器(电容倾斜传感器) 

电解质型倾斜传感器利用液体表面始终水平的特性,并通过电容的变化来检测液体的倾斜。具体而言,将电解液(导电性液体)封入到具有长度的一半程度的深度的空腔的筒体内,并且将在长度方向上相对的电极板密封。


换句话说,相应的电极大约其一半长度浸入电解质中。当圆柱体沿其长度倾斜,同时在电极板之间施加电压时,空腔中的电解质保持水平,导致浸入液体中的相对电极部分的差异,电路中的内阻发生变化。 。电解质倾斜传感器的倾斜检测是通过检测该电路的内阻变化并将其转换为角度来进行的。


但缺点是响应时间比较慢,液位容易受振动影响。电解质倾斜传感器可以通过布置两对彼此垂直的检测电极来检测两个轴上的倾斜。


2. MEMS(微机电系统)倾斜传感器

MEMS倾斜传感器是利用微机电系统技术的倾斜传感器。通过因倾斜而导致的部件弯曲来检测倾斜,从而产生电输出。 MEMS倾斜传感器具有固定在主体内部的一对固定电极以及由弹簧支撑在该对固定电极之间的可动电极。


当MEMS倾斜传感器绕固定电极和可动电极的支撑方向倾斜时,固定电极不移动而可动电极沿传感器倾斜的方向移动。即,各固定电极与可动电极之间的电容发生变化。 MEMS 倾斜传感器的机制是检测电容的变化并将其转换为角度。


通过将可移动电极垂直于 XY 方向放置并将每个电极夹在一对固定电极之间,可以检测两个轴的倾斜。


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