在现代工业生产和科学研究中,洁净室是至关重要的环境,而尘埃粒子计数器就像一位忠诚的 “守护神”,守护着洁净室的纯净与安全。
洁净室的等级划分主要依据尘埃粒子的数量和粒径大小。从 ISO 1 级到 ISO 9 级,对尘埃粒子的控制要求越来越宽松,但即使是相对宽松的 ISO 9 级洁净室,也对尘埃粒子有着明确的限制。尘埃粒子计数器是确定洁净室等级和监控其运行状态的关键仪器。它可以准确测量洁净室内每立方米空气中不同粒径的尘埃粒子数量,从亚微米级到数微米级的粒子都能精确检测。例如,在 ISO 1 级洁净室中,每立方米空气中大于等于 0.1 微米的尘埃粒子数不得超过 10 个,这种超高精度的要求只有通过尘埃粒子计数器才能实现监测。
在洁净室的日常运行中,尘埃粒子计数器持续工作,为维护洁净环境提供依据。它可以设置不同的采样周期和采样点,全面覆盖洁净室的各个区域。在芯片制造的洁净室中,尘埃粒子计数器在晶圆加工区、光刻区、封装区等关键部位设置采样点,实时监测尘埃粒子的浓度变化。如果某个区域的尘埃粒子浓度突然升高,可能是空气过滤系统出现故障、人员操作不当或设备运行产生的扬尘等原因导致。通过尘埃粒子计数器的监测数据,工作人员可以迅速定位问题所在,并采取相应的措施,如更换过滤器、加强人员培训或对设备进行维护。
对于不同类型的洁净室,尘埃粒子计数器都能发挥出色的作用。在制药洁净室中,它确保药品生产环境的无菌性和稳定性。在光学仪器制造洁净室中,它防止尘埃粒子对光学镜片和组件的污染,保证光学性能。在航空航天零部件制造洁净室中,它避免尘埃粒子对高精度零部件的损害,保障产品质量。而且,尘埃粒子计数器可以与洁净室的空气净化系统、通风系统等联动。当检测到尘埃粒子浓度超标时,可以自动调节空气净化系统的运行参数,如增加空气循环次数、提高过滤效率等,使洁净室尽快恢复到规定的洁净状态。