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2024/11/14 10:57:12精品KAKUHUNTER写真化学红外透射膜厚监测仪
精品KAKUHUNTER写真化学红外透射膜厚监测仪
红外透射膜厚监测仪可测量电池隔膜等半透明片材、黑色抗蚀剂等低反射膜、硅片等的厚度。这是一款红外吸收式薄膜测厚仪,可用于从实验室水平到生产过程中100%在线检测的所有情况。
这是一种红外薄膜测厚仪,采用由紧凑型镜面探头组成的透射光学系统,可通过 100 多个波长的光谱同时精确测量薄膜厚度、密度和成分等多个参数。
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通过使用小型30mm反射探头,
可以安装在设备或生产线内的狭小空间内。另外,探头
与主体仅通过光纤
连接,因此具有优异的耐环境性。
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可以实现短至 1 毫秒的高速采样。
可在生产线上进行实时检测和测量。
由于不会旋转干涉滤光片等,因此具有出色的耐用性和可靠性。
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测量算法 | 校准样品 | 测量目标 |
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兰伯特-比尔法 | 1 种 | 仅厚度 |
最小二乘回归法 | 2种以上 | 多重(厚度、密度、特定成分的混合量等) |
可以同时测量厚度和涂层重量。
现在可以测量硅基板上黑色抗蚀剂的厚度,这对于使用反射光谱的光学干涉膜厚计来说是很难做到的。