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精品KAKUHUNTER写真化学红外透射膜厚监测仪

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2024/11/14 10:57:12

精品KAKUHUNTER写真化学红外透射膜厚监测仪 

精品KAKUHUNTER写真化学红外透射膜厚监测仪 

特征

红外透射膜厚监测仪可测量电池隔膜等半透明片材、黑色抗蚀剂等低反射膜、硅片等的厚度。这是一款红外吸收式薄膜测厚仪,可用于从实验室水平到生产过程中100%在线检测的所有情况。
这是一种红外薄膜测厚仪,采用由紧凑型镜面探头组成的透射光学系统,可通过 100 多个波长的光谱同时精确测量薄膜厚度、密度和成分等多个参数。


    • 1

    • 测量半透明片、低反射膜、硅等
      的厚度,这是使用光学干涉测量法难以做到的。


    • 2

    • 小型光纤探头

      通过使用小型30mm反射探头,
      可以安装在设备或生产线内的狭小空间内。另外,探头
      与主体仅通过光纤
      连接,因此具有优异的耐环境性。


    • 3

    • 高速测量100多个点同时采样
      950至1650 nm的近红外波长

      可以实现短至 1 毫秒的高速采样。
      可在生产线上进行实时检测和测量。
      由于不会旋转干涉滤光片等,因此具有出色的耐用性和可靠性。


    • 4

    • 厚度测量重复性0.1%以下(3σ)


    • 5

    • 两种可选的测量算法

      测量算法校准样品测量目标
      兰伯特-比尔法1 种仅厚度
      最小二乘回归法2种以上多重(厚度、密度、特定成分的混合量等)


测量示例(锂离子电池隔膜)

可以同时测量厚度和涂层重量。

测量示例(硅基板上的黑色抗蚀剂膜厚)


现在可以测量硅基板上黑色抗蚀剂的厚度,这对于使用反射光谱的光学干涉膜厚计来说是很难做到的。

作品



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