单道扫描ICP光谱仪是一种广泛应用于无机元素定量和定性分析的精密仪器。在使用过程中，可能会遇到各种故障。以下是对常见故障的具体介绍：
1.等离子体无法点亮
氩气纯度不足：检查氩气钢瓶压力表，确保氩气纯度达到99.99%以上。
矩管问题：长时间使用的矩管可能需要更换或清洗。若发现炬管内有螺旋状放电现象，可能是由于炬管内有水汽或进样系统（如雾化器的前端喷嘴）发生堵塞等原因造成的。
循环水冷系统故障：检查循环水冷系统是否有充足的冷却液。
RF发生器故障：若点火时仅听见点火器发出的轻微响声，但点不着火，且不加高压RF，现象仍相同，则可初步判定为RF发生器无输出功率，需联系仪器专业工程师维修。
2.使用过程中熄火
排风系统不畅：排风系统排风不畅或不连续，影响等离子矩区域的热量排出。
炬管安装位置不正确：炬管的安装位置对于等离子炬的稳定至关重要。
操作参数不当：功率、雾化气、冷却气等操作参数对等离子体炬的稳定都有一定影响。
炬管及循环系统问题：炬管外围的铜线圈外壁结垢、管内部结垢、循环系统渗漏及管道过滤器堵塞等原因导致循环水量不足以及风冷效果不佳。
大功率管老化：运行不稳定可能导致熄火。
气源压力过低：载气（氩气）纯度不够，仪器等离子炬不稳定。
人为操作问题：触动联锁控制点（开关等），造成熄火。
3.单道扫描ICP光谱仪仪器无信号
进样管或载气管脱落：检验中突然没有数据输出，可能是雾化器的进样管或载气管脱落而造成的。
光学系统异常：检验时采集不到积分的数据，也可能是光学系统控制异常，如光栅转动异常导致所选用的某一元素的一些谱线不能准确地照射到出射狭缝上。
4.信号不稳定
雾化器与氩气导管接口问题：检查雾化器和氩气导管的接口及其密封性。
雾化器及进样管堵塞：检验中发现元素扫描强度突然降低，或短期精密度达不到要求，应检查雾化器及进样管，如任何一方堵塞，此时可更换或清洗雾化器。
5.环境因素故障
温度湿度影响：若检测过程中，发现仪器性能很不稳定、短期精密变较高（如果不是因为仪器预热时间不够），则检查实验室内温度及湿度是否达到要求。
6.单道扫描ICP光谱仪气路系统故障
气路泄漏或堵塞：点火时发现等离子气流量不足，调节流量器没有多大变化，此时初步判定为气路泄漏或气路堵塞，处理方法按气体管路接头分段排查。
氩气含水分过高或纯度不够：点火时发现等离子体发出“劈啪”声音，而且不易点着，此时初步判定为氩气含水分过高或气体纯度不够，更换高纯氩气即可。
