1. 外观检查
- 连接部位检查：仔细观察真空泵的各个连接部位，包括抽气口与被抽容器的连接、排水管与排水系统的连接、进水管与供水系统的连接以及泵体各部件之间的连接。查看连接部位是否有缝隙、松动或者密封材料（如橡胶密封圈）外露、损坏等情况。如果发现密封圈老化、破裂或者变形，很可能会导致密封不严。
- 泵体检查：检查泵体表面是否有裂缝、砂眼等可能导致泄漏的缺陷。特别是在泵体的焊接处、铸造薄弱环节等部位，要重点检查。可以使用-强光-手电筒照射泵体，从不同角度观察，更容易发现微小的裂缝。
2. 静态测试（压力测试）
- 准备工作：首先确保真空泵处于关闭状态，并且与其他设备的连接管道是密封的或者可以进行封堵。准备一个带有压力计的气源，如手动打气筒或小型空气压缩机，以及合适的封堵工具（如橡胶塞、密封胶带等）。
- 封堵进出口：用橡胶塞或其他合适的封堵工具将真空泵的抽气口和排气口紧密封堵住。如果有其他辅助的进出口（如循环水进出口），也需要一并封堵。
- 充入气体：通过气源向真空泵内缓慢充入一定压力的气体，一般可以充入0.1 - 0.3MPa的压力（具体压力可根据设备的耐压范围适当调整，但不要超过设备的额定压力）。在充入气体过程中，注意观察压力计的读数，当达到设定压力后，停止充气。
- 观察压力变化：保持真空泵静止状态，观察压力计的读数是否下降。如果压力在一段时间内（如10 - 15分钟）基本保持不变，说明密封性较好；如果压力下降明显，说明存在泄漏点。可以在可能泄漏的部位（如连接部位、密封处等）涂抹肥皂水或者专门的检漏液，观察是否有气泡产生，有气泡的地方就是泄漏点。
3. 运行状态检查
- 观察真空表读数变化：在真空泵正常运行抽真空过程中，观察真空表的读数。如果真空表读数在达到一定真空度后迅速下降，且排除了被抽容器本身泄漏的因素，那么很可能是真空泵的密封性出现问题。例如，当机械密封损坏时，空气可能会在运行过程中进入泵体，导致真空度无法维持。
- 检查工作介质情况：在运行过程中，观察水箱中的水位是否异常下降。如果水位下降速度明显高于正常蒸发和排水的速度，可能是泵体密封处有泄漏，导致工作介质（水）泄漏。同时，查看泵体周围是否有水渍或雾气出现，这也可能是密封不良的迹象。
4. 检查管道密封性
- 分段检查：如果怀疑管道部分存在泄漏，可以将管道从真空泵和其他设备上拆卸下来，分成若干小段进行检查。对于金属管道，可以采用压力测试的方法，类似上述泵体的静态测试；对于塑料或橡胶管道，可以通过向管道内充入气体，然后将管道浸入水中，观察是否有气泡产生来检查密封性。
- 连接部位检查：在管道重新连接到真空泵和其他设备时，要特别注意连接部位的密封性。使用合适的密封材料（如密封胶带、橡胶密封圈等），并确保连接牢固，拧紧连接螺母或螺栓后，可以适当拉动管道，检查连接是否紧密。
