负极材料
负极材料，作为锂电池重要组成部分，近年来备受关注。传统的石墨负极凭借其优异的材料稳定性和低成本，广泛应用于各个类型的电池模组内。但是由于石墨负极存在能量密度的理论克容上限（372mAh/g），各个材料研发单位和机构都在寻找一款高能量密度的新型负极材料，来代替传统石墨负极。
近年来，硅碳负极被认为是具备可大规模量产潜力的新型负极材料。而硅碳负极的制备，也经历了不同的工程化方向，最后被广泛认可且具备放大量产的方式为CVD工艺。而利用该工艺生产新型硅碳负极的设备，则是CVD流化床。在该生产工艺中，需要在多孔碳前驱体中，利用硅烷（SiH4）沉积硅原子，再利用乙炔（C2H2）等碳源气体，对中间体进行二次包覆，将其制备成新型硅碳负极材料。
由于该工艺特点，过程中的硅烷较容易与氧气接触发生反应，形成二氧化硅结晶附着在过程管路内壁。也是因为该工艺特点，对控制气体的质量流量控制器有着巨大挑战。传统的热式质量流量控制器（包括毛细管以及直通式），通过气体热特性的方式来计算质量流量，当温度传感器接触面上附着二氧化硅结晶后，可能会致使传感器导热效率下降，流动气体单位时间内传导到传感器的热量下降，最后导致测量值小于实际流通值。当测量值小于实际流通值后，原先设定的气体流量（理想测量值）将小于实际气体通过量。所以在安装有热式流量控制器的流化床上，经常在使用一段时间后，出现尾气中排放多余硅烷发生燃烧的现象。
而出现这种现象之后，热式质量流量控制器无法进行快速维修，只能设法更换传感器或报废。若长期使用该原理质量流量控制器，则可能出现毛细管传感器堵塞等现象，而引起更大的安全事故。
Alicat
Alicat 凭借其层流压差原理及其优异的产品精度，一致性和重复性。广泛受到新型硅碳负极行业内客户的一致认可。Alicat质量流量控制器的层流压差原理通过压差传感器（应变）获得气体在层流状态下前后压力差，再通过绝对压力传感器和温度传感器进行补偿得到气体当前的质量流量。在测量流量的同时，还能够实时监控入口端或出口端的气体压力和温度，让用户在使用流量控制器的过程中，多维度监控整个反应过程。
而传感器表面二氧化硅结晶，对应变传感器本身影响微乎其微。也是由于该特点，让Alicat有着更高的控制稳定性和对二氧化硅结晶更高的耐受度。而Alicat的层流压差传感器的保养和维护也异常轻松，仅需将流量控制器拆开，清洗，校准，即可恢复出厂性能。整个保养过程仅需一天时间。
除此之外，针对不同客户不同的环评要求，Alicat还可以提供覆盖0区，1区和2区的防爆产品。以适应客户生产要求。
推荐产品
Alicat MCR+VCR阀门
l精度：±(0.8%读数 + 0.2%满量程)
可选高精度±(0.4%读数+0.2%满量程)
l量程范围：0.5SCCM-10,000SLPM
l控制范围：1-100%满量程
l重复性：±0.2%满量程
l响应时间：<1ms
l控制响应时间(T63)：快至30ms
l预热时间：<1s
