超纯水机是一种用于生产高纯度水的设备，其结构复杂且功能多样。以下将详细介绍其主要构成组件：
1. 进水装置：进水装置主要由进水管道、进水阀门和进水过滤器组成。进水管道负责将水源引入超纯水机，进水阀门用于控制水流的大小，而进水过滤器则起到过滤杂质的作用，将悬浮物、微粒和微生物等杂质拦截掉。
2. 预处理系统：预处理系统是超纯水机中的重要组成部分，主要包括混合床和活性炭过滤器。混合床由阴离子交换树脂和阳离子交换树脂混合而成，用于去除水中的离子和杂质。活性炭过滤器则用于去除水中的有机物和余氯等物质。此外，预处理系统还可能包括石英砂过滤器、精密过滤器等，以进一步去除大颗粒杂质和悬浮物。
3. 反渗透系统：反渗透系统是超纯水机中关键的部件，主要由反渗透膜组件和压力泵组成。反渗透膜组件利用压力驱动水通过半透膜，将其中的离子、微生物和悬浮物等杂质分离出去。压力泵则提供足够的压力使水通过反渗透膜。反渗透技术具有一次分离度高、无相变、简单高效的特点，是制备超纯水的主要手段之一。
4. 电离交换系统：电离交换系统通常采用混床离子交换纯化柱或EDI(连续电去离子)装置。混床离子交换纯化柱由阴离子交换树脂和阳离子交换树脂按比例混合而成，用于深度去除RO纯水中尚存的微量离子。EDI装置则利用电化学原理去除水中的离子，进一步提高水的纯度。
5. 紫外线灭菌系统：紫外线灭菌装置用于杀灭水中的微生物，确保水的无菌性。紫外线灯通常采用254nm波长的紫外线照射杀菌，可有效破坏微生物的DNA分子。
6. 超纯水储存装置：超纯水储存装置主要包括纯水箱和纯水泵。纯水箱用于存储超纯水，而纯水泵则用于将超纯水抽出供应给生产使用。
7. 控制系统：控制系统是超纯水机的关键部分，主要由控制面板、传感器和电气元件组成。控制面板用于设置超纯水机的工作参数，传感器则监测超纯水的水质和水位等参数，电气元件则负责控制各个部件的运行。
8. 清洗系统：清洗系统用于对超纯水机进行定期清洗，包括反渗透膜的清洗和消毒。这有助于保持设备的性能和延长使用寿命。
9. 回收系统：回收系统是对超纯水机的废水进行回收利用的装置。通过回收系统，可以回收一定比例的废水，降低水资源的浪费。
