1. 工作介质与有无油污染
- 无油隔膜真空泵：
- 工作过程中不需要使用油作为工作介质。它是通过隔膜的往复运动来实现抽气，气体在泵内的压缩和传输是通过隔膜与泵体形成的气室完成的。
- 这种泵最大的优势就是无油污染。在使用过程中不会产生油蒸汽，所以对于对洁净度要求很高的环境，如实验室分析仪器（气相色谱、质谱等）、电子芯片制造、食品药品真空包装和真空干燥等领域，不会因为油的存在而污染被处理的样品或产品。
- 隔膜真空油泵：
- 以油作为工作介质和润滑剂。泵内有油循环系统，油在其中起到密封、润滑和冷却的作用。当隔膜运动时，油帮助维持气室的密封性，同时带走因摩擦产生的热量。
- 由于使用了油，在工作过程中存在油蒸汽泄漏的可能性。这使得它在一些对油污染敏感的环境下不适用，但在一些对清洁度要求不高的普通工业真空应用中，能够发挥其性能优势。
2. 性能特点
- 真空度和极限真空：
- 无油隔膜真空泵：通常能够达到较高的真空度，其极限真空可以达到很低的压强水平。这是因为它的结构设计使得气体在无油的环境下能够更有效地被压缩和排出，而且不会因油的存在而产生反压等影响真空度的因素。例如，一些高性能的无油隔膜真空泵极限真空可以达到1 - 10 mbar。
- 隔膜真空油泵：其真空度和极限真空性能受油的影响。油的蒸气压会限制泵所能达到的最-低压强，一般来说，隔膜真空油泵的极限真空度相对无油隔膜真空泵稍差一些，可能在10 - 100 mbar左右。
- 抽气速率和稳定性：
- 无油隔膜真空泵：抽气速率相对稳定，因为它的工作不依赖于油的循环和状态。在长时间工作过程中，只要隔膜等部件正常工作，其抽气速率能够保持在一个较为稳定的水平，能够满足对抽气速度和稳定性要求较高的应用场景，如连续的真空过滤、真空干燥等。
- 隔膜真空油泵：抽气速率在一定程度上会受到油的粘度、温度等因素的影响。如果油的温度过高或者油的粘度因使用时间等因素发生变化，可能会导致抽气速率不稳定。不过在正常工作状态下，也能够提供满足一般工业需求的抽气速率。
- 耐腐蚀性和工作介质适应性：
- 无油隔膜真空泵：对于一些对油敏感的气体或蒸汽（如一些化学活性气体、有机溶剂蒸汽等）有更好的适应性，不会因为与油接触而发生化学反应。而且由于没有油的存在，在处理一些腐蚀性气体时，只要隔膜材料本身具有良好的耐腐蚀性，就能够正常工作。
- 隔膜真空油泵：由于内部有油，当遇到一些能够与油发生化学反应或者溶解油的气体时，可能会出现问题。例如，某些强氧化性气体可能会氧化泵油，降低泵的性能，或者一些有机溶剂可能会稀释泵油，影响泵的密封性和工作效率。
3. 维护保养
- 无油隔膜真空泵：
- 维护相对简单。由于没有油的存在，不需要定期更换泵油。主要维护工作是检查隔膜的完整性、阀门的工作状态以及清洁泵体内部和外部的灰尘等。更换隔膜等部件也相对容易，成本较低。
- 使用寿命相对较长，因为没有油的腐蚀和因油质变化引起的部件磨损等问题，只要正常使用和定期维护，能够在较长时间内保持良好的性能。
- 隔膜真空油泵：
- 需要定期更换泵油，以保证泵的工作性能。一般来说，根据工作强度和泵油的质量，可能需要每隔一段时间（如几个月到一年）更换一次泵油。同时，还需要检查油的质量、油位等。
- 由于油的存在，泵体内部部件可能会因为油的腐蚀或者油中的杂质而出现磨损等问题。维护过程相对复杂，需要对泵油系统进行检查和维护，而且如果泵油泄漏，还需要清理泄漏的油，以免造成安全隐患或环境污染。
